Спектрально‑конфокальный 3D‑датчик серии AS
Спектрально‑конфокальный 3D‑датчик серии AS предназначен для бесконтактного высокоточного измерения трехмерной геометрии объектов, включая одновременное измерение многоуровневых (многослойных) поверхностей. Датчик применяется в системах прецизионного онлайн‑контроля и автоматизированных измерительных комплексах.
Принцип действия датчика основан на спектрально‑конфокальном методе измерений. Белый свет разлагается на непрерывный спектр длин волн, при этом каждая длина волны фокусируется в строго определённой точке по высоте на поверхности измеряемого объекта, формируя вертикальную фокальную плоскость. По анализу отраженного излучения определяется пространственная форма поверхности и строится трехмерная модель объекта.
Конструкция датчика обеспечивает стабильные измерения зеркально отражающих поверхностей и позволяет выполнять высокоточные 3D‑измерения в режиме реального времени.
Основные особенности и характеристики
- одновременное 3D‑измерение многоуровневых поверхностей;
- точность измерений: до 0,05 мкм;
- возможность измерений зеркально отражающих поверхностей;
- высокоточные трехмерные измерения в режиме онлайн;
- поддержка программного интерфейса SDK для интеграции в автоматизированные системы управления и контроля.
Области применения
- полупроводниковая промышленность;
- электронные изделия и микроэлектроника;
- прецизионная оптика;
- контроль геометрии многослойных и прозрачных материалов;
- системы автоматического контроля качества;
- научно‑исследовательские и лабораторные измерения.
Программное обеспечение
Предусмотрена возможность использования программного интерфейса (SDK) для разработки пользовательских приложений и интеграции датчика в производственные линии и измерительные системы.