Интерферометр белого света серии AM8000
Интерферометр белого света серии AM8000 предназначен для бесконтактных высокоточных измерений параметров поверхности, включая шероховатость, высоту ступеней и трехмерную топографию поверхности. Прибор применяется в системах прецизионного контроля качества и метрологических лабораториях.
Серия AM8000 обеспечивает субнанометровую точность измерений и расширенные функции автоматизации. По сравнению с серией AM7000 приборы AM8000 оснащены интеллектуальной системой управления, обеспечивающей автоматический поиск измеряемого объекта, автоматическую фокусировку и выравнивание поверхности по одной команде оператора.
Система поддерживает широкий набор измерительных режимов и сценариев применения. Автоматизированное перемещение по осям X–Y расширяет функциональные возможности прибора при проведении серийных и пространственно распределенных измерений.
Основные особенности и характеристики
- субнанометровая точность измерений;
- автоматическая фокусировка;
- автоматическое выравнивание (левелирование) измеряемой поверхности;
- расширенные интеллектуальные функции управления;
- измерение параметров шероховатости поверхности;
- измерение высоты ступеней;
- построение трехмерной топографии поверхности;
- широкий набор измерительных функций и областей применения.
Области применения
- полупроводниковая промышленность;
- прецизионная оптика;
- микро‑ и нанообработка;
- контроль качества поверхностей и покрытий;
- научно‑исследовательские и метрологические лаборатории;
- медицинские и биотехнологические изделия.
Программное обеспечение
Программное обеспечение обеспечивает:
- автоматизированное управление измерительным процессом;
- визуализацию и анализ 3D‑топографии поверхности;
- расчет параметров шероховатости и ступенчатых переходов;
- сохранение, обработку и экспорт результатов измерений.