Прибор для измерения толщины пленок
Прибор для измерения толщины пленок предназначен для бесконтактного высокоточного измерения толщины однослойных и многослойных пленочных структур. Прибор применяется в производственных и лабораторных условиях, в том числе в системах оперативного (онлайн) контроля технологических процессов.
Прибор обеспечивает ультравысокую точность измерений за счет применения алгоритмов точной коррекции погрешностей и высокоразрешающих методов обработки сигналов. Высокая частота выборки на уровне миллисекунд обеспечивает производительность, превышающую традиционные толщиномеры в 2–3 раза, что делает прибор особенно пригодным для использования в поточных и онлайн‑системах контроля.
Прибор поддерживает режим картографирования (Mapping mode), обеспечивающий автоматическое и высокоскоростное измерение распределения толщины по поверхности объекта, а также режимы одноточечных измерений.
Основные функции и характеристики
- высокоточное измерение толщины пленок;
- измерение многослойных пленочных структур;
- режим картографирования распределения толщины (Mapping);
- автоматический и высокоскоростной режим измерений;
- высокая частота дискретизации (миллисекундный уровень);
- повышенная разрешающая способность за счет коррекции систематических отклонений;
- возможность применения в онлайн‑контроле технологических процессов.
Области применения
- полупроводниковая промышленность;
- электронные изделия и микроэлектроника;
- производство дисплейных панелей;
- прецизионная оптика и покрытия;
- научно‑исследовательские и метрологические лаборатории;
- системы автоматического контроля качества.