Система 3D‑контроля пластин серии WM
Система 3D‑контроля пластин серии WM предназначена для автоматизированного измерения геометрических параметров полупроводниковых пластин, включая шероховатость поверхности, высоту ступеней и трехмерные линейные размеры. Система применяется в производственных и лабораторных условиях полупроводниковой промышленности.
Система серии WM обеспечивает измерение и анализ трехмерной морфологии поверхности пластин с использованием специализированного программного обеспечения. Простота программирования и интуитивно понятный пользовательский интерфейс обеспечивают удобство эксплуатации и сокращение времени подготовки измерений.
Система поддерживает автоматическое формирование отчетов и расширенный анализ 3D‑топографии поверхности. Предусмотрена возможность интеграции в автоматизированные системы управления и контроля за счет использования программного интерфейса SDK и настраиваемых измерительных инструментов.
Основные функции и возможности
- измерение шероховатости поверхности;
- измерение высоты ступеней;
- измерение трехмерных линейных размеров;
- простой интерфейс и упрощенное программирование измерительных процедур;
- автоматическое формирование отчетной документации;
- расширенный анализ трехмерной морфологии поверхности;
- поддержка SDK и возможность настройки пользовательских инструментов.
Области применения
- полупроводниковая промышленность;
- контроль качества пластин и подложек;
- микро‑ и наноэлектроника;
- научно‑исследовательские и метрологические лаборатории;
- производственные линии контроля.