ATOMETRICS Система измерения толщины, TTV и деформации пластин серии APS
Система использует бесконтактный метод измерений с применением источника белого света и двухзондовой конфигурации с верхним и нижним измерительными зондами. В процессе измерения образец размещается между верхним и нижним зондами, что позволяет за один измерительный цикл выполнять высокоточные и высокоскоростные измерения параметров пластины.
Конструкция системы обеспечивает высокую точность, высокую скорость сканирования и высокий уровень автоматизации измерительного процесса.
Основные особенности и характеристики
- измерение общей толщины пластин;
- измерение параметра TTV (Total Thickness Variation — вариация общей толщины);
- измерение параметров BOW и Warp (прогиб и коробление);
- совместимость с прозрачными и непрозрачными пластинами;
- бесконтактный метод измерений;
- использование источника белого света;
- двухзондовая схема измерений (верхний и нижний зонды);
- высокая точность измерений;
- высокая скорость сканирования;
- интеллектуальные алгоритмы обработки данных;
- автоматизированный режим работы.
Области применения
- производство полупроводниковых пластин;
- контроль технологических процессов обработки пластин;
- микро‑ и наноэлектроника;
- научно‑исследовательские и метрологические лаборатории;
- автоматизированные линии контроля качества.
Возможность автоматизации с помощью собственного ПО: интеграция, автоматизация измерений, собственные база данных и VISA-мост.
СПОАИ — специальное программное обеспечение для автоматизации измерений, разработанное на мощностях "Акметрон" — отечественного разработчика программного обеспечения, производителя и крупнейшего поставщика оборудования с 2012 года.
Это клиент-серверное приложение с многопользовательской распределённой архитектурой, которое решает задачи повышения производительности труда на производстве, сокращения длительности измерений и снижения требований к квалификации персонала. ПО внесено в реестр Минцифры: №28145
Ключевые преимущества:
- Полный цикл «под ключ»: от разработки до сопровождения
- Клиент-серверная архитектура с самостоятельной переналадкой
- Централизованный сбор и хранение результатов в БД с возможностью миграции в вашу БД
- Генератор отчетов на основе ваших шаблонов (docx. и xlsx.)
- Управление приборами с любым типом интерфейса
- ПО работает на системах Windows, Linux, MacOS, доступна веб-версия
Результаты внедрений:
- Непрерывная работа в автоматическом режиме до 48 часов
- До 4 500 измерений за этап
- Одновременное управление 15+ приборами
- Автоматизация техтренировки и полной программы испытаний выпускаемых изделий — более 10 контролируемых приборов на одном рабочем месте, до 4 500 автоматизированных измерений в каждом этапе, непрерывная работа в автоматическом режиме 24–48 часов
- Измерение радиотехнических характеристик приемопередающих модулей
- Автоматизация тестирования фотонных интегральных схем
- Контроль и испытания СВЧ-усилителей для космических аппаратов
Для каждого продукта мы предоставляем полный комплект документации: инструкция по установке с пошаговой настройкой, руководство по эксплуатации с описанием требований и рабочих процессов, презентация с обзором возможностей и кейсов внедрения.
Предоставим систему с учётом требований промышленных стандартов и рассчитанную на многолетнюю эксплуатацию. Также мы обеспечиваем соответствие отраслевым требованиям, надёжность архитектуры для критических систем и масштабируемость без потери стабильности.
Наши специалисты помогут вам решить самые сложные задачи по автоматизации, измерениям и интеграции
Аналоги
