Стриж Нанотроника — автоматическая система 3D-инспекции проволочных соединений
Автоматическая система оптической 3D-инспекции «Стриж» предназначена для контроля проволочных соединений кристалл–подложка после операции wire bonding и до герметизации корпуса. Система формирует трехмерную модель проволочных соединений по серии изображений, полученных при различных положениях фокуса, и автоматически контролирует геометрию проволок, параметры шариковых контактов и межпроводниковые зазоры.
Решение применяется для оптимизации процесса монтажа кристаллов и повышения качества выпускаемых интегральных схем. Поддерживается контроль соединений из золота, серебра и меди на печатных платах и металлических лентах.
Автоматическая система оптической 3D-инспекции «Стриж» предназначена для контроля проволочных соединений кристалл–подложка после операции wire bonding и до герметизации корпуса. Система формирует трехмерную модель проволочных соединений по серии изображений, полученных при различных положениях фокуса, и автоматически контролирует геометрию проволок, параметры шариковых контактов и межпроводниковые зазоры.
Решение применяется для оптимизации процесса монтажа кристаллов и повышения качества выпускаемых интегральных схем. Поддерживается контроль соединений из золота, серебра и меди на печатных платах и металлических лентах.
|
Образец соединения чипа с подложкой |
Образец изображения из программного обеспечения после проверки в BF |
Образец изображения из программного обеспечения после проверки в DF |
Технология 3D инспекции, основана на получении 3D модели провода через анализ множественных изображения с различными координационными центрами. После получения серии изображений участка провода с различными уровнями фокусировки строится карта высот: для каждой точки XY вычисляется координата Z (высота), после чего создается трехмерная карта поверхности проводов.

Особенности
· Автоматизированная 3D-инспекция wire bonds перед корпусированием.· Построение карты высот и 3D-модели проволочных соединений.
· Контроль высоты петли, длины, волнистости и целостности каждой проволоки.
· Проверка размеров шарикового контакта и корректности пайки/сварки.
· Измерение минимального расстояния между проволоками и выявление вероятных электрических замыканий.
· Работа в режимах светлого и темного поля (BF/DF).
· Камера разрешением 5120 × 4096 пикселей.
Области применения
· Производство и контроль качества полупроводниковых приборов.· Контроль процесса монтажа кристалл–подложка.
· Инспекция проволочных соединений в микроэлектронике и силовой электронике.
· Входной, межоперационный и выходной контроль сборки микросхем.
· Анализ дефектов wire bonding перед герметизацией корпусов.
Контролируемые параметры
· Высота петли проволочного соединения.· Размеры шарикового контакта.
· Длина каждой проволоки.
· Обрыв проволоки.
· Корректность соединения.
· Волнистость и изгибы проволоки.
· Минимальный зазор между проволоками.
· Электрические замыкания между проволоками.
· Трехмерная карта смонтированных проволочных соединений.
Возможность автоматизации с помощью собственного ПО: интеграция, автоматизация измерений, собственные база данных и VISA-мост.
СПОАИ — специальное программное обеспечение для автоматизации измерений, разработанное на мощностях "Акметрон" — отечественного разработчика программного обеспечения, производителя и крупнейшего поставщика оборудования с 2012 года.
Это клиент-серверное приложение с многопользовательской распределённой архитектурой, которое решает задачи повышения производительности труда на производстве, сокращения длительности измерений и снижения требований к квалификации персонала. ПО внесено в реестр Минцифры: №28145
Ключевые преимущества:
- Полный цикл «под ключ»: от разработки до сопровождения
- Клиент-серверная архитектура с самостоятельной переналадкой
- Централизованный сбор и хранение результатов в БД с возможностью миграции в вашу БД
- Генератор отчетов на основе ваших шаблонов (docx. и xlsx.)
- Управление приборами с любым типом интерфейса
- ПО работает на системах Windows, Linux, MacOS, доступна веб-версия
Результаты внедрений:
- Непрерывная работа в автоматическом режиме до 48 часов
- До 4 500 измерений за этап
- Одновременное управление 15+ приборами
- Автоматизация техтренировки и полной программы испытаний выпускаемых изделий — более 10 контролируемых приборов на одном рабочем месте, до 4 500 автоматизированных измерений в каждом этапе, непрерывная работа в автоматическом режиме 24–48 часов
- Измерение радиотехнических характеристик приемопередающих модулей
- Автоматизация тестирования фотонных интегральных схем
- Контроль и испытания СВЧ-усилителей для космических аппаратов
Для каждого продукта мы предоставляем полный комплект документации: инструкция по установке с пошаговой настройкой, руководство по эксплуатации с описанием требований и рабочих процессов, презентация с обзором возможностей и кейсов внедрения.
Предоставим систему с учётом требований промышленных стандартов и рассчитанную на многолетнюю эксплуатацию. Также мы обеспечиваем соответствие отраслевым требованиям, надёжность архитектуры для критических систем и масштабируемость без потери стабильности.
Наши специалисты помогут вам решить самые сложные задачи по автоматизации, измерениям и интеграции