Сова Нанотроника — автоматическая система оптической инспекции пластин
Автоматическая система оптической инспекции «Сова» предназначена для контроля полупроводниковых пластин диаметром до 200 мм в режимах светлого и темного поля. Система выполняет измерение всей поверхности пластины, автоматическое обнаружение и классификацию дефектов, детальный просмотр дефектных областей и визуализацию результатов анализа.
Оборудование рассчитано на контроль кремниевых пластин диаметром 200 мм и пластин из карбида кремния диаметром 150 мм. Минимальный обнаруживаемый размер дефекта — от 250 нм.
Автоматическая система оптической инспекции «Сова» предназначена для контроля полупроводниковых пластин диаметром до 200 мм в режимах светлого и темного поля. Система выполняет измерение всей поверхности пластины, автоматическое обнаружение и классификацию дефектов, детальный просмотр дефектных областей и визуализацию результатов анализа.
Оборудование рассчитано на контроль кремниевых пластин диаметром 200 мм и пластин из карбида кремния диаметром 150 мм. Минимальный обнаруживаемый размер дефекта — от 250 нм.
Особенности
· Полноповерхностная автоматическая инспекция полупроводниковых пластин.· Контроль в светлом и темном поле (BF/DF).
· Автоматическое обнаружение и классификация дефектов.
· Высокоразрешающий просмотр выявленных дефектов.
· Минимальный обнаруживаемый размер дефекта от 250 нм.
· Визуализация и анализ оптических изображений.
· Поддержка кремния (Si) и карбида кремния (SiC).
Области применения
· Входной контроль полупроводниковых пластин.· Межоперационный контроль в производстве микроэлектроники.
· Инспекция пластин перед литографией, нанесением покрытий и корпусированием.
· Контроль пластин Si и SiC для силовой электроники, СВЧ-устройств и дискретных компонентов.
· Анализ дефектов поверхности и оценка чистоты технологического процесса.
Обнаруживаемые дефекты
· Частицы и загрязнения.· Топологические дефекты.
· Царапины.
· Дефекты адгезии.
· Химические остатки.
· Другие дефекты, выявляемые методами оптической инспекции в светлом и темном поле.
Дефекты при инспекции
|
|
|
|
|
|
|
|
Возможность автоматизации с помощью собственного ПО: интеграция, автоматизация измерений, собственные база данных и VISA-мост.
СПОАИ — специальное программное обеспечение для автоматизации измерений, разработанное на мощностях "Акметрон" — отечественного разработчика программного обеспечения, производителя и крупнейшего поставщика оборудования с 2012 года.
Это клиент-серверное приложение с многопользовательской распределённой архитектурой, которое решает задачи повышения производительности труда на производстве, сокращения длительности измерений и снижения требований к квалификации персонала. ПО внесено в реестр Минцифры: №28145
Ключевые преимущества:
- Полный цикл «под ключ»: от разработки до сопровождения
- Клиент-серверная архитектура с самостоятельной переналадкой
- Централизованный сбор и хранение результатов в БД с возможностью миграции в вашу БД
- Генератор отчетов на основе ваших шаблонов (docx. и xlsx.)
- Управление приборами с любым типом интерфейса
- ПО работает на системах Windows, Linux, MacOS, доступна веб-версия
Результаты внедрений:
- Непрерывная работа в автоматическом режиме до 48 часов
- До 4 500 измерений за этап
- Одновременное управление 15+ приборами
- Автоматизация техтренировки и полной программы испытаний выпускаемых изделий — более 10 контролируемых приборов на одном рабочем месте, до 4 500 автоматизированных измерений в каждом этапе, непрерывная работа в автоматическом режиме 24–48 часов
- Измерение радиотехнических характеристик приемопередающих модулей
- Автоматизация тестирования фотонных интегральных схем
- Контроль и испытания СВЧ-усилителей для космических аппаратов
Для каждого продукта мы предоставляем полный комплект документации: инструкция по установке с пошаговой настройкой, руководство по эксплуатации с описанием требований и рабочих процессов, презентация с обзором возможностей и кейсов внедрения.
Предоставим систему с учётом требований промышленных стандартов и рассчитанную на многолетнюю эксплуатацию. Также мы обеспечиваем соответствие отраслевым требованиям, надёжность архитектуры для критических систем и масштабируемость без потери стабильности.
Наши специалисты помогут вам решить самые сложные задачи по автоматизации, измерениям и интеграции
Рекомендуем посмотреть
