Вакуумная печь MUX400
Вакуумная печь предназначена для пайки в вакууме IGBT-модулей, TR-компонентов, MCMS (многокристальных модулей), гибридных схем, датчиков / MEMS (с водяным охлаждением), силовой электроники, оптоэлектронных устройств, герметизации (с водяным охлаждением) и эвтектической пайки.
Характеристики
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Контроль температуры | PID-контроль температуры всего процесса пайки |
| Точность контроля температуры | ± 1 °C |
| Скорость нагрева | 150 °C/мин |
| Равномерность температуры | ±2,5 °C |
| Давление вакуума |
10⁻⁵ Па при высоком вакууме (турбомолекулярный насос); 5 Па при низком вакууме |
| Система подачи газа | Работа с несколькими газами (азот, муравьиная кислота и азотно-водородные смеси); MFC контроллер |
| Автономная работа | Погрузка и разгрузка может быть полностью автоматизированы |
| Высота камеры | 80 мм |
| Нагревательный материал | Пластины из карбида кремния (SiC) |
| Стандартная комплектация | Вакуумный насос, система охлаждения, газовая система на 3 линии, оснастка |
| Система управления | ПЛК Siemens, промышленный ПК |