Вакуумная печь активации геттеров MUX300
Вакуумная печь предназначена для активации и герметизации изделий на основе геттеров, неохлаждаемых инфракрасных детекторов, MEMS датчиков, гироскопов и аналогичных прецизионных применений.
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Дорабатываемый дизайн | Может быть доработан под требования заказчика, с изменением размера и высоты |
| Контроль температуры | PID-контроль температуры всего процесса пайки |
| Точность контроля температуры | ± 1 °C |
| Скорость нагрева | 120 °C/мин |
| Равномерность температуры | ±2,5 °C |
| Давление вакуума | 10⁻⁵ Па при высоком вакууме (молекулярный насос) |
| Температура активации | 350 °C в течение 15 минут |
| Скорость охлаждения | ≥120 °C/мин, с контактным охлаждением |
| Площадь нагрева (ось X) | 270 – 300 мм |
| Площадь нагрева (ось Y) | 270 – 300 мм |
| Подъемный механизм | L-образный зажим с точностью позиционирования 0,02 мм |
| Оснастка | Доступна специальная оснастка для точного выравнивания изделий различных размеров |
| Высота камеры | 500 – 530 мм |
| Стандартная комплектация | Вакуумный насос, молекулярный насос, оснастка, подъемная платформа |
| Система управления | ПЛК Siemens, промышленный ПК |