Вакуумная печь предназначена для активации и герметизации изделий на основе геттеров, неохлаждаемых инфракрасных детекторов, MEMS датчиков, гироскопов и аналогичных прецизионных применений.
Параметр
Значение
Дорабатываемый дизайн
Может быть доработан под требования заказчика, с изменением размера и высоты
Контроль температуры
PID-контроль температуры всего процесса пайки
Точность контроля температуры
± 1 °C
Скорость нагрева
120 °C/мин
Равномерность температуры
±2,5 °C
Давление вакуума
10⁻⁵ Па при высоком вакууме (молекулярный насос)
Температура активации
350 °C в течение 15 минут
Скорость охлаждения
≥120 °C/мин, с контактным охлаждением
Площадь нагрева (ось X)
270 – 300 мм
Площадь нагрева (ось Y)
270 – 300 мм
Подъемный механизм
L-образный зажим с точностью позиционирования 0,02 мм
Оснастка
Доступна специальная оснастка для точного выравнивания изделий различных размеров
