Установка тестирования микромонтажа MFM1200
Тестер микромонтажа MFM1200 - это многофункциональный ручной испытательный прибор, который можно
использовать для проверки качества микросоединений, с помощью испытаний на растяжение, отрыв и сдвиг.
В зависимости от требований он может быть оснащен различными испытательными модулями. В дополнение
к обычным испытательным модулям также могут быть добавлены специализированные модули, такие как
испытание на вытягивание при низкой температуре, испытание на вытягивание при высокой температуре,
испытание на растяжение щипцами, испытание на сдвиг при пассиваци.
Тестер микромонтажа MFM1200 применяется в полупроводниковой промышленности, производстве
светодиодов и ряде отраслей с высокими требованиями к надежности для разрушающего и неразрушающего
контроля после операций микросварки и/или монтажа кристаллов.
Характеристики
| Характеристика | Значение |
|---|---|
| Микроскоп | Motic стандарт (LEICA/NICON/OLYMPUS опционально) |
| Перемещение по осям X,Y | 100x100 мм (стандарт) |
| Точность по осям X,Y | ± 10 мкм (полный ход) |
| Повторяемость по осям X,Y | ± 5 мкм (полный ход) |
| Разрешение по осям X,Y | <0,125 мкм |
| Макс. скорость по осям X,Y | 2 мм/с |
| Макс. сила по оси Y | 100 кг (стандартно), 200 кг (опционально) |
| Макс. сила по оси X | 20 кг |
| Перемещение по оси Z | 60 мм |
| Точность по оси Z |
± 10 мкм (полный ход) ± 1 мкм (в диапазоне 2 мм) |
| Разрешение по оси Z | ± 0,125 мкм |
| Макс. скорость по оси Z | 7 мм/с |
| Макс. сила по оси Z | 20 кг |
| Точность системы | ±0,25% FS (стандарт) |
| Рабочий XY стол 100х100 мм (стандарт) | Макс. сила: 100 кг (стандарт), 200 кг (опция) |
| Рабочий XY стол 200х200 мм | Макс. сила: 100 кг (стандарт), 200 кг (опция) |
| Рабочий XY стол 320х320 мм | Макс. сила: 50 кг (стандарт) |
Модули испытания на сдвиг (Ball/Die)
| На сдвиг | ||||
|---|---|---|---|---|
| BS250G | 250 г | 100 г | 50 г | 25 г |
| BS1KG | 1000 г | 500 г | 250 г | 100 г |
| BS5KG | 5 кг | 2,5 кг | 1 кг | 500 г |
| BS20KG | 20 кг | 10 кг | 4 кг | 2 кг |
| DS100KG | 100 кг | 50 кг | 20 кг | 10 кг |
| DS200KG | 200 кг | 100 кг | 40 кг | 20 кг |
| ZoneDS100KG | 100 кг | 50 кг | 20 кг | 10 кг |
Модули испытания на растяжение (Wire)
| На растяжение | ||||
|---|---|---|---|---|
| WP25G | 25 г | 10 г | 5 г | 2,5 г |
| WP50G | 50 г | 25 г | 10 г | 5 г |
| WP100G | 100 г | 50 г | 25 г | 10 г |
| WP1000G | 1000 г | 500 г | 250 г | 100 г |
| WP5KG | 5 кг | 2,5 кг | 1,25 кг | 500 г |
| WP10KG | 10 кг | 5 кг | 2 кг | 1 кг |
| WP20KG | 20 кг | 10 кг | 5 кг | 2 кг |
Модули испытания на сжатие (Down/Pull)
| На сжатие | ||||
|---|---|---|---|---|
| DP100G | 100 г | 50 г | 25 г | 10 г |
| DP5KG | 5 кг | 2,5 кг | 1 кг | 500 г |
| PP5KG | 5 кг | 2,5 кг | 1 кг | 500 г |
| PP50KG | 50 кг | 25 кг | 10 кг | 5 кг |
Модули испытания на растяжение (Tweezers/ColdBump)
| На растяжение | ||||
|---|---|---|---|---|
| TP100G | 100 г | 50 г | 25 г | 10 г |
| TP5KG | 5 кг | 2,5 кг | 1,25 кг | 500 г |
| CBP100G | 100 г | 50 г | 25 г | 10 г |
| CBP5KG | 5 кг | 2,5 кг | 1,25 кг | 500 г |