Сканирующий электронный микроскоп с полевой эмиссией CIQTEK SEM4000Pro

Ключевые особенности

• Полевой эмиссионный источник электронов типа Шоттки
• Высокое разрешение при низком ускоряющем напряжении
• Оптимизированная электронно‑оптическая система для аналитических задач
• Возможность работы с непроводящими и слабо проводящими образцами
• Поддержка широкого набора детекторов и аналитических модулей

Электронно‑оптическая система

• Тип электронной пушки: высокояркая полевая электронная пушка Шоттки
• Диапазон ускоряющего напряжения: от 0,02 до 30 кВ
• Пространственное разрешение:
  • до 1,2 нм при 15 кВ
  • до 1,8 нм при 1 кВ
• Электромагнитный объектив с пониженной аберрацией
• Стабильный пучок, оптимизированный для EDS и EBSD‑анализа

Режимы наблюдения и аналитические возможности

• Получение изображений во вторичных и обратно рассеянных электронах
• Повышенная контрастность при работе в низковольтном режиме
• Совместимость с методами элементного и кристаллографического анализа
• Эффективная работа при больших токах зонда для аналитических измерений

Камера образцов и вакуумная система

• Автоматизированная безмасляная вакуумная система
• Просторная камера для установки дополнительных детекторов
• Встроенный шлюз быстрой загрузки образцов
• Возможность работы с образцами различной формы и состава

Предметный стол

• Моторизованный эвцентрический предметный столик
• Число осей: 5
• Диапазоны перемещений:
  • X, Y — до 110 мм
  • Z — до 65 мм
  • Наклон — от −10° до +70°
  • Вращение — 360°
• Высокая точность позиционирования и повторяемость

Системы детектирования

В стандартной комплектации:
- Детектор вторичных электронов Эверхарта–Торнли
- Внутриколонный детектор вторичных электронов

Опционально:
- Детекторы обратно рассеянных электронов (BSE)
- STEM‑детектор
- Энергодисперсионный анализ (EDS/EDX)
- EBSD‑система
- Режим низкого вакуума для непроводящих образцов

Программное обеспечение и управление

• Современный графический интерфейс управления
• Централизованное управление микроскопом и детекторами
• Автоматические функции:
  • автофокусировка;
  • коррекция астигматизма;
  • автоматическая настройка яркости и контраста
• Оптическая навигация по образцу
• Операционная система: Windows
• Язык интерфейса: английский

Области применения

• материаловедение и металлография;
• анализ отказов и контроль качества;
• полупроводниковые структуры и микроэлектроника;
• порошковые материалы и катализаторы;
• геология и минералогия;
• научные и прикладные исследования.