Система оптимизации нагрузки полупроводниковых устройств на пластине
Реализованный проект АКМЕТРОН для измерения параметров транзисторов на пластине на базе зондовой станции.
Задача:
заказчик обратился в Демо-лабораторию АКМЕТРОН для проведения оптимизации нагрузки полупроводниковых устройств на пластине c учетом настройки импеданса гармоник.Собранный под задачи заказчика измерительный стенд включал:
- базовый блок импульсной системы питания AU5;
- блок формирования третьего режима Tri-state;
- зонд затвора TPG20 / зонд стока TPHG220-2;
- многоканальный модульный источник питания N6700C;
- источник питания постоянного тока N5751A (2 шт.);
- цифровой мультиметр 34461A;
- векторный анализатор цепей N5247B;
- автоматический импедансный тюнер C-67100;
- автоматический мультигармонический импедансный тюнер;
- USB измеритель мощности U8488A;
- ручная зондовая станция с зондами с рабочим диапазоном частот до 67 ГГц;
- механический калибровочный комплект 85056D;
- калибровочная пластина для СВЧ зондов;
Характеристики и технические возможности стенда:
- тип доступных измерений: Load-pull, ВАХ и S-параметры в импульсном режиме;
- тип доступных моделей: поведенческие и компактные модели;
- тип испытуемых устройств: биполярные и полевые транзисторы на полупроводниковой пластине;
- тип конфигурации Load-pull: пассивная или гибридная;
- максимальный диаметр испытуемой пластины: 200 мм;
- конфигураций зондов: GSG с расстоянием между контактами 150 мкм;
- диапазон рабочих частот: от 10 ГГц до 50 ГГц.