Настольная система измерения толщины тонких пленок MProbe
MProbe Vis — настольная система для высокоточного измерения толщины тонких плёнок в широком диапазоне толщин от 10 нм до 150 мкм. Обеспечивает воспроизводимость до ≤ 0,01 нм (или 0,01%) и точность до ≤ 1 нм (или 0,2%), работает в эффективном спектральном диапазоне 450–1050 нм и подходит для образцов размером 10–200 мм (опционально до 300 мм). Компактное пятно измерения менее 1 мм позволяет выполнять локальные измерения на поверхности образца.
Настольная система MProbe Vis предназначена для контроля толщины тонких плёнок с высокой стабильностью и повторяемостью результатов. Измерения выполняются в видимом/ближнем ИК диапазоне (эффективно 450–1050 нм) с использованием спектрометра F3 с коррекцией астигматизма и тороидальным зеркалом, а регистрация сигнала осуществляется Si CMOS-детектором на 2048 пикселей с 16-битным АЦП, что обеспечивает точную обработку спектральных данных. В качестве источника света применяется галогенная лампа 5 Вт (Xe filled) с ресурсом до 10 000 часов, что удобно для регулярной эксплуатации. Система рассчитана на работу с образцами стандартно 10–200 мм, а при необходимости может быть сконфигурирована для образцов до 300 мм.
Основные характеристики
- Воспроизводимость: ≤ 0,01 нм или 0,01 %
- Точность: ≤ 1 нм или 0,2 %
- Устойчивость результатов вычислений: 0,02 нм или 0,03 %
- Размер пятна: < 1 мм (стандартно)
- Размер образца: 10 - 200 мм (опция: до 300 мм)
Конфигурация настольной системы
- Диапазон длин волн (нм): 450 - 1050 (эффективный)
- Спектрометр / детектор: Спектрометр F3 (с коррекцией астигматизма, тороидальное зеркало), Si CMOS 2048 пикс., АЦП 16 бит
- Источник света: Галогенная лампа 5 Вт (Xe filled), ресурс 10 000 ч
- Диапазон толщин: 10 нм - 150 мкм