Настольная система измерения толщины тонких пленок MProbe
Настольная система MProbe Vis предназначена для контроля толщины тонких плёнок с высокой стабильностью и повторяемостью результатов. Измерения выполняются в видимом/ближнем ИК диапазоне (эффективно 450–1050 нм) с использованием спектрометра F3 с коррекцией астигматизма и тороидальным зеркалом, а регистрация сигнала осуществляется Si CMOS-детектором на 2048 пикселей с 16-битным АЦП, что обеспечивает точную обработку спектральных данных. В качестве источника света применяется галогенная лампа 5 Вт (Xe filled) с ресурсом до 10 000 часов, что удобно для регулярной эксплуатации. Система рассчитана на работу с образцами стандартно 10–200 мм, а при необходимости может быть сконфигурирована для образцов до 300 мм.
Основные характеристики
- Воспроизводимость: ≤ 0,01 нм или 0,01 %
- Точность: ≤ 1 нм или 0,2 %
- Устойчивость результатов вычислений: 0,02 нм или 0,03 %
- Размер пятна: < 1 мм (стандартно)
- Размер образца: 10 - 200 мм (опция: до 300 мм)
Конфигурация настольной системы
- Диапазон длин волн (нм): 450 - 1050 (эффективный)
- Спектрометр / детектор: Спектрометр F3 (с коррекцией астигматизма, тороидальное зеркало), Si CMOS 2048 пикс., АЦП 16 бит
- Источник света: Галогенная лампа 5 Вт (Xe filled), ресурс 10 000 ч
- Диапазон толщин: 10 нм - 150 мкм
Возможность автоматизации с помощью собственного ПО: интеграция, автоматизация измерений, собственные база данных и VISA-мост.
СПОАИ — специальное программное обеспечение для автоматизации измерений, разработанное на мощностях "Акметрон" — отечественного разработчика программного обеспечения, производителя и крупнейшего поставщика оборудования с 2012 года.
Это клиент-серверное приложение с многопользовательской распределённой архитектурой, которое решает задачи повышения производительности труда на производстве, сокращения длительности измерений и снижения требований к квалификации персонала. ПО внесено в реестр Минцифры: №28145
Ключевые преимущества:
- Полный цикл «под ключ»: от разработки до сопровождения
- Клиент-серверная архитектура с самостоятельной переналадкой
- Централизованный сбор и хранение результатов в БД с возможностью миграции в вашу БД
- Генератор отчетов на основе ваших шаблонов (docx. и xlsx.)
- Управление приборами с любым типом интерфейса
- ПО работает на системах Windows, Linux, MacOS, доступна веб-версия
Результаты внедрений:
- Непрерывная работа в автоматическом режиме до 48 часов
- До 4 500 измерений за этап
- Одновременное управление 15+ приборами
- Автоматизация техтренировки и полной программы испытаний выпускаемых изделий — более 10 контролируемых приборов на одном рабочем месте, до 4 500 автоматизированных измерений в каждом этапе, непрерывная работа в автоматическом режиме 24–48 часов
- Измерение радиотехнических характеристик приемопередающих модулей
- Автоматизация тестирования фотонных интегральных схем
- Контроль и испытания СВЧ-усилителей для космических аппаратов
Для каждого продукта мы предоставляем полный комплект документации: инструкция по установке с пошаговой настройкой, руководство по эксплуатации с описанием требований и рабочих процессов, презентация с обзором возможностей и кейсов внедрения.
Предоставим систему с учётом требований промышленных стандартов и рассчитанную на многолетнюю эксплуатацию. Также мы обеспечиваем соответствие отраслевым требованиям, надёжность архитектуры для критических систем и масштабируемость без потери стабильности.
Наши специалисты помогут вам решить самые сложные задачи по автоматизации, измерениям и интеграции
Аналоги
