Установка монтажа кристаллов T-5500
T-5500 — это установка монтажа кристаллов высокой мощности, дополняющая линейку T-5100 и T-5300. Сложная конструкция интегрированного модуля HF, с силой прижима до 100 кг, в сочетании с технологией Tresky True Vertical обеспечивает абсолютную копланарность между чипом и подложкой на любой высоте во время процесса монтажа.
T-5500 оснащен моторизованной программируемой осью Z и моторизованной осью Theta (вращение модуля). Идеально подходит для применения в условиях, требующих высочайшей точности термокомпрессионного сращивания, например, при спекании синтеров (Sinter bonding) и использовании технологии Flip-Chip.
Характеристики
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Ход по осям XY (этап размещения) | 220 мм × 220 мм (вручную) |
| Ход по оси Z | 120 мм (автоматический) |
| Вращение шпинделя (θ) | 360° (моторизованный) |
| Сила прижима (стандартный диапазон) | 20 г – 100 кг (другое усилие по запросу) |
| Разрешение измерения по оси Z | ±0,001 мм |
| Макс. размер подложки / печатной платы | 400 мм × 280 мм |
| Точность размещения |
±10 мкм; ±1 мкм опционально (в зависимости от процесса) |
| Оптическое разрешение (опция Flip-Chip Optic 1x) | 1,25 мкм |
| Оптическое разрешение (опция Flip-Chip Optic 2x) | 0,625 мкм |