Измерительный комплекс на базе автоматической зондовой станции, предназначенный для проведения оптических, электронных и оптоэлектронных измерений
Задача
- Развернуть производство фотонных интегральных схем (ФИС) с проектной мощностью до 2 000 пластин/год и до 500 000 фотонных чипов/год (в зависимости от топологии и функционала).
- Обеспечить массовые, повторяемые и сопоставимые измерения электрических и оптических параметров изделий микроволновой фотоники на этапах RnD и поточного производства (в т.ч. входной контроль).
- Снизить влияние человеческого фактора: измерения должны выполняться автоматизированно, с минимальным участием оператора и поддержкой широкой номенклатуры изделий (например, широкополосные оптические модуляторы).
Система
Сложный измерительный комплекс, который:
o выполняет разные типы измерений для различных устройств и сценариев (RnD/серийные тесты),
o работает под управлением специализированного ПО,
o обеспечивает стабильный оптический ввод/вывод при тестировании кристалла,
o поддерживает масштабирование под рост номенклатуры и добавление новых приборов.
o Необходимость единого контура, где измерительное оборудование и зондовая станция работают согласованно, а тест-программы могут быстро адаптироваться под новые изделия и требования.
Наше решение
Предложено комплексное решение “под ключ”: измерительное оборудование от ведущих мировых производителей + механика позиционирования + ПО автоматизации измерений.
- Аппаратная часть:
- полуавтоматическая зондовая станция со специализированными 6-координатными гексаподами для эффективного ввода/вывода оптического излучения с тестируемого кристалла;
- специализированные приборы, включая:
- анализатор оптической модуляции до 40 ГГц,
- анализатор оптических компонентов до 40 ГГц на базе векторного анализатора цепей (ВАЦ) и специализированного оптического преобразователя,
- многоканальные источники/измерители,
- широкополосный генератор сигналов произвольной формы до 45 ГГц,
- параметрический анализатор для измерения ВАХ/ВФХ,
- базовые приборы: анализатор спектра и сигналов, источники оптического излучения, оптические измерители мощности, контроллеры поляризации и др.
- Программная часть:
- Специализированное программное обеспечение (СПОАИ) собственной разработки, которое интегрирует управление всем измерительным оборудованием и зондовой станцией с одного ПК;
- возможность гибко формировать тест-программу с произвольным набором измерений под конкретное устройство/задачу;
- заложенная архитектура для расширения (подключение новых приборов/методик без сложной перестройки комплекса).
Преимущества нашего решения
- Единое рабочее место: управление всей измерительной инфраструктурой и позиционированием с одного ПК.
- Автоматизация и повторяемость: снижение влияния оператора, рост стабильности результатов и сопоставимости измерений между партиями/сменами.
- Гибкая методическая база: быстрый выбор и настройка измерений под разные типы устройств и под разные этапы (RnD, входной/выходной контроль и т.д.).
- Снижение требований к квалификации персонала за счёт сценариев измерений и централизованного управления.
- Масштабируемость: возможность наращивания функционала и добавления оборудования по мере роста производства и номенклатуры.
- Готовность к промышленной эксплуатации: ориентированность на потоковые измерения при сохранении глубины и вариативности, необходимой для RnD.
