Комплекс для измерений вольт-амперных и вольт-фарадных характеристик на полупроводниковых пластинах в МИЭТ
В декабре 2020 года в Зеленоградский МИЭТ был поставлен комплекс для измерений вольт-амперных и вольт-фарадных характеристик на полупроводниковых пластинах диаметром до 150 мм на базе зондовой станции MPI ITS150-Triax и параметрического анализатора Keysight B1500A
Зондовая станция оснащена температурным держателем пластин до +150 °С и четырьмя DC зондами в триаксиальном исполнении. Кроме того, для снижения влияния посторонних вибраций в комплекс добавлена антивибрационная платформа, работающая на сжатом воздухе
В состав модульного параметрического анализатора В1500А входят следующие модули:
- модуль источника-измерителя средней мощности B1511B (2 шт.)
- модуль измерителя вольт-фарадных характеристик B1520A (1 шт.)
- модуль B1530A (1 шт.)
- модуль B1511B (2 шт.)
Данный комплекс позволит заказчику выполнять различные научно-исследовательские работы в области исследования параметров полупроводниковых приборов с высокой точностью и производительность.
