Полуавтоматическая зондовая станция
Полуавтоматическая зондовая станция для пластин 200 мм, с комплектом СВЧ и DC зондов, микроскопом
В наличии
22 170 000 руб.
Базовая полуавтоматическая зондовая станция открытой архитектуры
предназначенная для проведения измерений ВАХ, ВФХ, импульсных и СВЧ характеристик полупроводниковых приборов на пластинах диаметром до 200 мм.
Используется для входного контроля и выбраковки. Эта станция была разработана для анализа сбоев, проверки соответствия конструкции заданным требованиям, технологии ИС, надежности конструкции на уровне полупроводниковой пластины, а также особым требованиям, предъявляемым к измерениям устройств МЭМС, сигналов высокой мощности, высокочастотных сигналов и сигналов миллиметрового диапазона.
Поставляется с пассивным антивибрационным столом. Диапазон рабочих температур до +300 °C, нижний диапазон определяется температурой окружающей среды.
Столешница позволяет разместить до 12 позиционеров в различном сочетании. Кроме того есть возможность установки пробкарт при использовании стандартного 4.5" держателя.
Предустановленное программное обеспечение SENTIO управляет всеми процессами, а также имеет возможность автоматического распознавания чипов, создания карты подложки и маркировки выбракованных элементов.
Комплектация полуавтоматической зондовой станции в наличии на складе АКМЕТРОН:
- RC-200R держатель пластин 200 мм – 1шт;
- антивибрационный стол – 1 шт;
- 2 дополнительных керамических держателя пластин для проведения калибровок в СВЧ тракте;
- OP-5050M-LVM привод микроскопа с ручным перемещением 50х50 мм по осям XY и автоматизированным 140 мм по оси Z – 1 шт;
- SZ12 длиннофокусный однотрубный микроскоп cо светодиодной подсветкой – 1 шт;
- CAM-3MP-SENTIO;
- видеокамера – 1 шт.;
- позиционер MP40 - 2 шт;
- PA-R-E держатель СВЧ пробников направления «восток» - 1 шт;
- PA-R-W держатель СВЧ пробников направления «запад» - 1 шт;
- позиционер МР25 – 4 шт;
- PA-TF-2M триаксиальный держатель DC пробников c интегрированным кабелем длиной 2 м - 4 шт;
- иголки DC пробников PT-W-S-7MIC с радиусом закругления 7 мкм – 25 шт;
- T26A-GSG-150 СВЧ пробник до 26 ГГц топологии GSG, питч 150 мкм – 2 шт:
- MRC-26SMA-MF-1200 СВЧ кабель 26 ГГц, SMA male - SMA female, 120 см – 2 шт;
- АС2 калибровочная пластина для пробников топологии GSG – 1 шт;
- TCP-1 чистящие принадлежности для СВЧ пробников - 1 шт;
- ПО для калибровки QALIBRIA - 1 шт;
- монитор с диагональю 21,5 дюйма – 1 шт;
- вакуумный насос – 1 шт;
- компрессор – 1 шт.
Характеристика | Значение |
---|