Ручная зондовая станция 200 мм с комплектом под тюнеры
Ручная зондовая станция с комплектом СВЧ и DC зондов, микроскопом и комплектом под тюнеры. 200 мм держатель пластин.
В наличии
15 387 000 руб.
Зондовая станция предназначена для точных и воспроизводимых измерений постоянных (DC/CV), высокочастотных (RF) сигналов и сигналов большой мощности (High Power).
Станция имеет широкие возможности применения для таких нужд, как снятие характеристик и моделирование устройств, оценка надежности кристаллов на подложке, анализ дефектов технологии ИС, МЭМС и измерения высокой мощности.
Комплектация зондовой станции на складе АКМЕТРОН:
- RC-200R держатель пластин 200 мм в триаксиальном исполнении с перемещением по осям XY при помощи воздушной подушки – 1шт;
- 2 дополнительных керамических держателя пластин для проведения калибровок в СВЧ тракте;
- Специальная подготовка для установки тюнеров импеданса, позиционеры MP80 с держателями – 2 шт.;
- OP-5050M ручной привод микроскопа с перемещением 50х50 мм и возможностью опрокидывания микроскопа назад – 1 шт;
- SZ12 длиннофокусный однотрубный микроскоп cо светодиодной подсветкой – 1 шт;
- 1080 HDMI видеокамера – 1 шт;
- позиционер MP40 - 2 шт;
- PA-R-E держатель СВЧ пробников направления «восток» - 1 шт;
- PA-R-W держатель СВЧ пробников направления «запад» - 1 шт;
- позиционер МР25 – 4 шт;
- PA-CF-2M держатель DC пробников c интегрированным коаксиальным кабелем длиной 2 м - 4 шт;
- иголки DC пробников PT-W-S-7MIC с радиусом закругления 7 мкм – 25 шт;
- T67A-GSG-150 СВЧ пробник до 50 ГГц топологии GSG, питч 150 мкм – 4 шт:
- MMC-67V-MF-1200 СВЧ кабель 50 ГГц, 2.4 мм male - 2.4 мм female, 120 см – 4 шт;
- АС2 калибровочная пластина для пробников топологии GSG – 1 шт;
- TCP-1 чистящие принадлежности для СВЧ пробников - 1 шт;
- ПО для калибровки QALIBRIA - 1 шт;
- VIT-ST активный антивибрационный стол с креплением для монитора – 1 шт:
- монитор с диагональю 21,5 дюйма – 1 шт;
- вакуумный насос – 1 шт;
- компрессор – 1 шт.
Ключевые особенности ручной зондовой станции 200мм:
✓ Высококачественный мост для крепления микроскопов
✓ Подъем по оси Z для удобства работы с зондами
✓ Перемещение 25 x 25 мм при помощи воздушной подушки или 50 x 50 мм механическое перемещение по XY
Настраиваемая высота рабочего стола
✓ Контроль высоты с помощью микрометра
✓ 20 мм рабочий ход
Рабочий стол
✓ Прочный стол с высокой чистотой обработки
✓ Подходит для DC/CV и СВЧ измерений
✓ Разметка для установки позиционеров для СВЧ зондов
✓ Термически стабилен
Уникальный механизм подъема стола
✓ Три фиксированных положения: контакт, разделение (300 мкм) и загрузка пластин (3 мм)
✓ Наличие блокиратора
✓ Функция Auto Contact с повторяемостью ±1 мкм для плавного и точного вхождения в контакт
Калибровка в тракте СВЧ
✓ 2 дополнительных керамических держателя для установки калибровочных пластин
✓ Чистота обработки поверхности 1 мкм Небольшая занимаемая площадь
✓ Для настольного использования
✓ Поставляется с антивибрационным основанием
Микроскоп
✓ Могут устанавливаться разные модели микроскопов
* ✓ Бинокулярный стереомикроскоп ST45 или цилиндрические SZ10, MZ12 с зумом 12x и рабочим расстоянием 95 мм
* ✓ Мощные микроскопы FS70/PSM-1000
* ✓ Камера HDMI
Управление нагревом держателя пластин
✓ Возможность установки пульта управления нагревом держателя с сенсорным экраном
Держатели пластин
✓ Различные типы держателей пластин, в том числе с нагревом
* ✓ Триаксиальное или коаксиальное исполнение
* ✓ Нагрев до 300 °C
* ✓ Возможность модернизации
* ✓ Возможность тестировать пластины малого размера
DC и СВЧ позиционеры
✓ Возможность установки до 4 СВЧ и 10 DC различных позиционеров с держателями для ВА/ВФ и СВЧ измерений
Перемещение держателя пластин
✓ Уникальный способ перемещения держателя с помощью воздушной подушки
✓ 240 x 315 мм перемещение по осям XY ✓ Точное перемещение 25 x 25 мм с микрометрическим контролем
✓ Точность перемещения < 1.0 мкм (0.04 mils) @500 мкм/rev
✓ ±5° перемещение по углу поворота
Управление вакуумом на передней панели
✓ Легкий доступ
Опции:
✓ Антивибрационная платформа
✓ Защитный кожух от ЭМИ и света
✓ Вакуумный насос и компрессор
✓ Антивибрационные стол с дополнительными полками для ПК, термоконтроллера и клавиатуры
✓ Штанга для установки мониторов
Характеристика | Значение |
---|