Зондовая станция TS 200 предназначена для точных и воспроизводимых измерений постоянных (DC/CV), высокочастотных (RF) сигналов и сигналов большой мощности (High Power). Станция имеет широкие возможности применения для таких нужд, как снятие характеристик и моделирование устройств, оценка надежности кристаллов на подложке, анализ дефектов технологии ИС, МЭМС и измерения высокой мощности.

Ключевые особенности:

Держатель микроскопа
✓ Высококачественный мост для крепления микроскопов
✓ Подъем по оси Z для удобства работы с зондами
✓ Перемещение 25 x 25 мм при помощи воздушной подушки или 50 x 50 мм механическое перемещение по XY

Настраиваемая высота рабочего стола
✓ Контроль высоты с помощью микрометра
✓ 20 мм рабочий ход

Рабочий стол
✓ Прочный стол с высокой чистотой обработки
✓ Подходит для DC/CV и СВЧ измерений
✓ Разметка для установки позиционеров для СВЧ зондов
✓ Термически стабилен

Уникальный механизм подъема стола
✓ Три фиксированных положения: контакт, разделение (300 мкм) и загрузка пластин (3 мм)
✓ Наличие блокиратора
✓ Функция Auto Contact с повторяемостью ±1 мкм для плавного и точного вхождения в контакт

Калибровка в тракте СВЧ
✓ 2 дополнительных керамических держателя для установки калибровочных пластин
✓ Чистота обработки поверхности 1 мкм Небольшая занимаемая площадь
✓ Для настольного использования
✓ Поставляется с антивибрационным основанием

Микроскоп
✓ Могут устанавливаться разные модели микроскопов
* ✓ Бинокулярный стереомикроскоп ST45 или цилиндрические SZ10, MZ12 с зумом 12x и рабочим расстоянием 95 мм
* ✓ Мощные микроскопы FS70/PSM-1000
* ✓ Камера HDMI

Управление нагревом держателя пластин
✓ Возможность установки пульта управления нагревом держателя с сенсорным экраном

Держатели пластин
✓ Различные типы держателей пластин, в том числе с нагревом
* ✓ Триаксиальное или коаксиальное исполнение
* ✓ Нагрев до 300 °C
* ✓ Возможность модернизации
* ✓ Возможность тестировать пластины малого размера

DC и СВЧ позиционеры
✓ Возможность установки до 4 СВЧ и 10 DC различных позиционеров с держателями для ВА/ВФ и СВЧ измерений

Перемещение держателя пластин
✓ Уникальный способ перемещения держателя с помощью воздушной подушки
✓ 240 x 315 мм перемещение по осям XY ✓ Точное перемещение 25 x 25 мм с микрометрическим контролем
✓ Точность перемещения < 1.0 мкм (0.04 mils) @500 мкм/rev
✓ ±5° перемещение по углу поворота

Управление вакуумом на передней панели
✓ Легкий доступ

Опции:
✓ Антивибрационная платформа
✓ Защитный кожух от ЭМИ и света
✓ Вакуумный насос и компрессор
✓ Антивибрационные стол с дополнительными полками для ПК, термоконтроллера и клавиатуры
✓ Штанга для установки мониторов