TS150 Зондовая станция

TS150 Зондовая станция

Базовая версия популярной ручной зондовой станции для пластин 150 мм.
Под заказ

Зондовая станция TS 150 предназначена для точных и воспроизводимых измерений постоянных (DC/CV), высокочастотных (RF) сигналов и сигналов большой мощности (High Power). Станция имеет широкие возможности применения для таких нужд, как снятие характеристик и моделирование устройств, оценка надежности кристаллов на подложке, анализ дефектов технологии ИС, МЭМС и измерения высокой мощности.

Основные возможности TS-150:

  • Эргономичный дизайн позволяет быстро позиционировать образец при помощи ручного пантографа.
  • Устойчивая плита, допускающая установку до 10 DC или 4 RF-позиционеров
  • Воспроизводимый дизайн подъемника плиты с 3 отдельными режимами: для загрузки образца, контакта с образцом и промежуточный
  • Антивибрационная платформа в комплекте
  • Русскоязычное калибровочное ПО QAlibria
  • Возможность использования дополнительного навешиваемого на микроскоп оборудования при помощи жесткого моста для микроскопа
Функции и преимущества:

Платформа с пневматическим подшипником 
Уникальная конструкция платформы с пневматическим подшипником компании МПИ обладает простым передвижным приспособлением, управляемым одной рукой. Это позволяет осуществлять быстрое перемещение по осям XY и загружать пластину без ухудшения высокопрецизионного позиционирования. Дополнительное высокоточное перемещение осуществляется с помощью микрометрического винта по осям XY и в диапазоне 25 x 25 мм.

Уникальный механизм подъема платформы
Точность измерений зависит, прежде всего, от качества контакта! Конструкция механизма подъема платформы с высокой степенью повторяемости (1µm) имеет три раздельных положения для обеспечения контакта, зазора (300 µm) и загрузки (3 мм) с безопасным запорным приспособлением. Данные функции предотвращают нежелательное повреждение зонда или пластины, обеспечивая интуитивное управление и точное размещение контакта. Особенно эта функция важна для высокочастотных измерений и измерений с высокой мощностью.

Регулировочная шкала по высоте
Точная регулировка зондовой платформы по высоте составляет 25 мм и требуется для поддержки различных измерений. Уникальная шкала с точностью 1 мм обеспечивает наглядность текущего положение платформы.

Компактная и жесткая конструкция платформы
Компактная и жесткая конструкция платформы обеспечивает размещение до десяти микропозиционеров для измерений на постоянном токе и до четырех высокочастотных.

Различные держатели пластин
Предлагаются ручные станции с различными техническими решениями держателей пластин. Компания МПИ предлагает коаксиальные, триаксиальные и различные термические держатели пластин для выполнения температурных измерений в диапазоне до 300°C

Дополнительные держатели (для калибровочных пластин)
В комплекте с высокочастотными держателями пластин входят два дополнительных держателя, встроенные в керамический материал для размещения калибровочных пластин

Выбор различных микроскопов и типов перемещений микроскопов
Предлагается большой ассортимент микроскопов и типов перемещений. Стереоскопический микроскоп для выполнения измерений на постоянном токе и вольт-фарадных характеристик. Монокулярные микроскопы SZ10 или MZ12 для ВЧ конфигураций. Имеются в наличии высокомощные оптические устройства, например, Mitutoyo FS70 или Motic PSM-1000, для приложений, выполняющих анализ отказов.

Откидывание микроскопа
Откидывание микроскопа на 90 градусов, стандартная опция для ручных зондовых станций так же, как и перемещение микроскопа при помощи пневматического подшипника и линейный подъем микроскопа по оси Z. Эти опции позволяют легко устанавливать и менять ВЧ головки.

Антивибрационная платформа
В состав всех ручных систем входит антивибрационное основание для достижения стабильного и устойчивого длительного контакта между зондом и подложкой, обеспечивая, таким образом, надежные результаты измерений. Антивибрационная платформа или антивибрационный стол являются дополнительными приспособлениями для лабораторий, где требуется всесторонняя защита от вибраций и заказываются отдельно.

Светоизоляционный корпус
Предлагаемый светоизоляционный корпус обеспечивает защиту от электромагнитных излучений и светонепроницаемые условия проведения испытаний для сверхмалошумных измерений на постоянном токе.

Зондовые станции TS150 просты в использовании. Предназначены для прецизионного анализа подложек и полупроводниковых пластин размером до 150мм. Данные станции подходят для решения самых различных задач, включая анализ отказов, проверку параметров структур на этапе проектирования интегральных схем, микроэлектромеханических систем (MEMS), а так же определение характеристик и моделирование устройств высокой мощности

Показать большеменьше
Характеристика Значение

Похожие товары

TS50 Зондовая станция
Ручная зондовая станция начального уровня для пластин 50 мм.
Под заказ
TS150 Зондовая станция
Базовая версия популярной ручной зондовой станции для пластин 150 мм.
Под заказ
TS150-AIT Зондовая станция
Ручная зондовая станция для измерений на пластинах 150 мм с использованием импедансных тюнеров.
Под заказ
TS150-THZ Зондовая станция
Ручная зондовая станция для измерений в миллиметровом и терагерцовом диапазонах.
Под заказ
TS150-HP Ручная зондовая станция
Станции для устройств высокой мощности предназначены для тестирования устройств высокой мощности на полупроводниковой пластине. Зондовые станции TS150-HP обеспечивают реализацию технического решения для измерений на пластине с расстоянием до 150 мм. Они позволяют успешно выполнять измерения низкого контактного сопротивления мощных полупроводниковых устройств в широком температурном диапазоне.
Под заказ
TS200 Зондовая станция
Ручная зондовая станция предназначена для измерений постоянных (DC/CV), высокочастотных (RF) сигналов и сигналов большой мощности (High Power)
Под заказ
TS200-SE / IFE Зондовая станция
Ручная зондовая станция TS200-ShieldEnvironment с защитой от электромагнитного и светового излучения. TS200-IFE в отличие от серии SE дешевле, не в полной мере защищает тестируемые образцы от ЭМИ, но зато прекрасно зарекомендовала себя при измерениях с отрицательными температурами. Конструктивно отличается заменой оголовника SE-CAP на IF-CAP.
Под заказ
TS200-THZ Зондовая станция
Ручная зондовая станция для измерений в терагерцовом диапазоне.
Под заказ
TS300-PCB Зондовая станция
Ручная зондовая станция для пластины диаметром до 300 мм и печатных плат размером до 610х500 мм.
Под заказ
TS300 Зондовая станция
Ручная зондовая станция для измерений постоянных (DC/CV), высокочастотных (RF) сигналов и сигналов большой мощности (High Power).
Под заказ
TS300-SE / IFE Зондовая станция
Ручная измерительная зондовая станция TS300 с функцией защиты ShielDEnvironment™ предназначена для измерения вольт-фарадных характеристик (DC/CV), а также измерения высокочастотных сигналов (RF) пластин размером до 300 мм в диапазоне температур от -60 до +300°C. Она включает в себя антивибрационную платформу для удобного проведения ежедневных измерений. TS300-IFE в отличие от серии SE дешевле, не в полной мере защищает тестируемые образцы от ЭМИ, но зато прекрасно зарекомендовала себя при измерениях с отрицательными температурами. Конструктивно отличается заменой оголовника SE-CAP на IF-CAP.

Под заказ

Вы смотрели