TS150-THZ Зондовая станция
Ручная зондовая станция для измерений в миллиметровом и терагерцовом диапазонах.
Под заказ
Зондовая станция TS150-THZ компании МПИ предназначена для точных измерений в миллиметровом и терагерцовом диапазонах. Конструкции станции обеспечивает механическую стабильность. Ее работа осуществляется без подъема держателя на частотах, выше 220 ГГц. Она имеет уникальные функции подъема держателя и платформы, аналогично ручным зондовым станциям TS-150, TS-200, разработанным компанией МПИ.
Платформа на пневматическом подшипнике
Конструкция платформы держателя пластин на пневматическом подшипнике компании МПИ обладает простым передвижным приспособлением, управляемым одной рукой, обеспечивая, таким образом, быстрое перемещение по осям XY и загрузку пластины без ухудшения высокопрецизионного позиционирования. Дополнительное высокоточное перемещение осуществляется с помощью микрометрического винта по осям XY и вращением (Theta) с шагом 25 x 25 мм.
Уникальный механизм подъема платформы
Конструкция механизма подъема платформы с высокой степенью повторяемости (1 мкм) ручной зондовой станции TS150-THZ имеет три отдельных положения для обеспечения контакта, зазора (300 мкм) и загрузки (3 мм) с безопасным запорным приспособлением. Данные функции предотвращают нежелательное повреждение зонда или полупроводниковой пластины, обеспечивая интуитивное управление, точное размещение контакта и безопасную установку. Эта функция особенно важна для высокочастотных измерений в миллиметровом диапазоне и субтерагерцовом диапазоне частот (100 ГГц – 10 ТГц)
Регулировка держателя пластин по оси Z
Высокоточная регулировка держателя пластин по оси Z зондовой станции TS150-THZ с шагом 10 мм обеспечивает возможность использования различных частотных расширителей, например, производства компаний Rohde & Schwarz, VDI или OML.
Конфигурации микропозиционеров
Специализированная и жесткая конструкция платформы позволяет разместить два микропозиционера MP80 (восток-запад) с большой площадью крепления для адаптеров расширения частотного диапазона. Станция разработана для четырехпортовых высокочастотных измерений или смещения при помощи двух мостов «север» и «юг»
MP80-DX
Микропозиционеры MP80-DX компании МПИ обладают высокопрецизионным определением до 1 мкм значения Δl и предназначены для точной калибровки TRL, которая представляет собой технологию высокочастотной калибровки в миллиметровом и суб-терагерцовом диапазоне.
Различные держатели полупроводниковых пластин
Станция TS150-THZ оснащена различными держателями полупроводниковых пластин, которые удовлетворяют различные требованиях, предъявляемые как к бюджету, так и измерениям: Стандартные держатели для высокочастотных измерений с разъемом BNC, • Специализированные держатели для измерений в миллиметровом диапазоне, полностью встроенные в специальный керамический материал с высокотемпературной проводимостью (>180W/Km), или • Держатели для высокочастотных измерений с воздушным охлаждением ERS (для температурного диапазона от 20°C до 200°C или выше) с интегрированной позолоченной верхней поверхностью и небольшими отверстиями для подачи вакуума. Все держатели имеют два дополнительных держателя калибровочных подложек, встроенные в керамический материал для выполнения прецизионной высокочастотной калибровки, особенно в диапазоне выше 40 ГГц.
Микроскоп и оптика
Компания МПИ предлагает широкий ассортимент оптических устройств– от монокулярных микроскопов SuperZoom SZ10 до MegaZoom MZ12 с 12-кратным увеличением и рабочим расстоянием более 45 мм. Низкий коэффициент этих микроскопов соответствует требованиям, предъявляемым к высокочастотным измерениям и измерениям в миллиметровом диапазоне, благодаря пространственным ограничениям, характерным для интеграции частотных удлинителей, которые требуют малые расстояния до тестируемого объекта.
Инструкции (eng)
Характеристика | Значение |
---|