Зондовые станции TS150-AIT и TS200-THZ расширяют линейку станций для измерений в терагерцовом диапазоне. Созданы для тестирования полупроводниковых структур, используемых в области создания высокоскоростных устройств связи, не инвазивной спектроскопии, медицинском оборудовании, систем безопасности и наблюдения.

Эти две системы специально спроектированы для точных измерений на пластинах 150 и 200 мм в миллиметровом и терагерцовом диапазонах с использованием тюнеров автоматического согласования импеданса. «Бесшовная» интеграция расширителей частотного в любом диапазоне в том числе дифференциальном и широкополосном. Новый дизайн адаптеров расширителей частотного диапазона обеспечивает механическую стабильность для высокой повторяемости измерений, удобства и безопасности работы.

Пневматическая платформа

Конструкция платформы держателя пластин на пневматическом подшипнике компании МПИ обладает простым передвижным приспособлением, управляемым одной рукой, обеспечивая, таким образом, быстрое перемещение по осям XY и загрузку пластины без ухудшения высокопрецизионного позиционирования. Дополнительное высокоточное перемещение осуществляется с помощью микрометрического винта по осям XY и вращением (Theta) с шагом 25 x 25 мм.

Уникальный механизм подъема платформы

Конструкция механизма подъема платформы с высокой степенью повторяемости (1 мкм) ручной зондовой станции TS150-AIT имеет три отдельных положения для обеспечения контакта, зазора (300 мкм) и загрузки (3 мм) с безопасным запорным приспособлением. Данные функции предотвращают нежелательное повреждение зонда или полупроводниковой пластины, обеспечивая интуитивное управление, точное размещение контакта и безопасную установку. Эта функция особенно важна для высокочастотных измерений в миллиметровом диапазоне и субтерагерцовом диапазоне частот (100 ГГц – 10 ТГц). Дополнительно этот механизм обеспечивает подъем  платформы на 50, 100 или 150 µm для быстрого и удобного выравнивания щупа головки по отношению к контактной площадки.

Регулировка держателя пластин по оси Z

Высокоточная регулировка держателя пластин по оси Z зондовой станции TS150-AIT с шагом 10 мм обеспечивает возможность использования различных частотных расширителей, например, производства компаний Rohde & Schwarz, VDI или OML.

Конфигурации микропозиционеров

Специализированная и жесткая конструкция платформы позволяет разместить два микропозиционера MP80 (восток-запад) с большой площадью крепления для адаптеров расширения частотного диапазона. Станция разработана для четырехпортовых высокочастотных измерений или смещения при помощи двух мостов «север» и «юг».

MP80-DX

Микропозиционеры MP80-DX компании МПИ обладают высокопрецизионным определением до 1 мкм значения Δl и предназначены для точной калибровки TRL, которая представляет собой технологию высокочастотной калибровки в миллиметровом и суб-терагерцовом диапазоне.

Различные держатели полупроводниковых пластин

Станция TS150-AIT оснащена различными держателями полупроводниковых пластин, которые удовлетворяют различные требованиях, предъявляемые как к бюджету, так и измерениям: 

• Стандартные держатели для высокочастотных измерений с разъемом BNC, 

• Специализированные держатели для измерений в миллиметровом диапазоне, полностью встроенные в специальный керамический материал с высокотемпературной проводимостью (>180W/Km), или  

• Держатели для высокочастотных измерений с воздушным охлаждением ERS (для температурного диапазона от 20°C до 200°C или выше) с интегрированной позолоченной верхней поверхностью и небольшими отверстиями для подачи вакуума. Все держатели имеют два дополнительных держателя калибровочных подложек, встроенные в керамический материал для выполнения прецизионной высокочастотной калибровки, особенно в диапазоне выше 40 ГГц.

Микроскоп и оптика

Компания МПИ предлагает широкий ассортимент оптических устройств – от монокулярных микроскопов SuperZoom SZ10 до MegaZoom MZ12 с 12-кратным увеличением и рабочим расстоянием более 45 мм. Низкий коэффициент этих микроскопов соответствует требованиям, предъявляемым к высокочастотным измерениям и измерениям в миллиметровом диапазоне, благодаря пространственным ограничениям, характерным для интеграции частотных удлинителей, которые требуют малые расстояния до тестируемого объекта.

Интеграция частотных расширителей

TS150-AIT включает совершенно новую конструкцию для интеграции частотных расширителей. Чтобы свести к минимуму расстояние до испытуемого устройства и обеспечить наилучшую возможную направленность измерения, МПИ представила новую концепцию, которая наводит расширитель на всю пластину диаметром 200 мм. При переключении между различными полосами в конструкцию встроена защита от сбоев, для большей безопасности.