TS150-AIT Зондовая станция

TS150-AIT Зондовая станция

Ручная зондовая станция для измерений на пластинах 150 мм с использованием импедансных тюнеров.
Под заказ

Зондовые станции TS150-AIT и TS200-THZ расширяют линейку станций для измерений в терагерцовом диапазоне. Созданы для тестирования полупроводниковых структур, используемых в области создания высокоскоростных устройств связи, не инвазивной спектроскопии, медицинском оборудовании, систем безопасности и наблюдения.

Эти две системы специально спроектированы для точных измерений на пластинах 150 и 200 мм в миллиметровом и терагерцовом диапазонах с использованием тюнеров автоматического согласования импеданса. «Бесшовная» интеграция расширителей частотного в любом диапазоне в том числе дифференциальном и широкополосном. Новый дизайн адаптеров расширителей частотного диапазона обеспечивает механическую стабильность для высокой повторяемости измерений, удобства и безопасности работы.


Пневматическая платформа

Конструкция платформы держателя пластин на пневматическом подшипнике компании МПИ обладает простым передвижным приспособлением, управляемым одной рукой, обеспечивая, таким образом, быстрое перемещение по осям XY и загрузку пластины без ухудшения высокопрецизионного позиционирования. Дополнительное высокоточное перемещение осуществляется с помощью микрометрического винта по осям XY и вращением (Theta) с шагом 25 x 25 мм.

Уникальный механизм подъема платформы

Конструкция механизма подъема платформы с высокой степенью повторяемости (1 мкм) ручной зондовой станции TS150-AIT имеет три отдельных положения для обеспечения контакта, зазора (300 мкм) и загрузки (3 мм) с безопасным запорным приспособлением. Данные функции предотвращают нежелательное повреждение зонда или полупроводниковой пластины, обеспечивая интуитивное управление, точное размещение контакта и безопасную установку. Эта функция особенно важна для высокочастотных измерений в миллиметровом диапазоне и субтерагерцовом диапазоне частот (100 ГГц – 10 ТГц). Дополнительно этот механизм обеспечивает подъем  платформы на 50, 100 или 150 µm для быстрого и удобного выравнивания щупа головки по отношению к контактной площадки.

Регулировка держателя пластин по оси Z

Высокоточная регулировка держателя пластин по оси Z зондовой станции TS150-AIT с шагом 10 мм обеспечивает возможность использования различных частотных расширителей, например, производства компаний Rohde & Schwarz, VDI или OML.

Конфигурации микропозиционеров

Специализированная и жесткая конструкция платформы позволяет разместить два микропозиционера MP80 (восток-запад) с большой площадью крепления для адаптеров расширения частотного диапазона. Станция разработана для четырехпортовых высокочастотных измерений или смещения при помощи двух мостов «север» и «юг».

MP80-DX

Микропозиционеры MP80-DX компании МПИ обладают высокопрецизионным определением до 1 мкм значения Δl и предназначены для точной калибровки TRL, которая представляет собой технологию высокочастотной калибровки в миллиметровом и суб-терагерцовом диапазоне.

Различные держатели полупроводниковых пластин

Станция TS150-AIT оснащена различными держателями полупроводниковых пластин, которые удовлетворяют различные требованиях, предъявляемые как к бюджету, так и измерениям: 

• Стандартные держатели для высокочастотных измерений с разъемом BNC, 

• Специализированные держатели для измерений в миллиметровом диапазоне, полностью встроенные в специальный керамический материал с высокотемпературной проводимостью (>180W/Km), или  

• Держатели для высокочастотных измерений с воздушным охлаждением ERS (для температурного диапазона от 20°C до 200°C или выше) с интегрированной позолоченной верхней поверхностью и небольшими отверстиями для подачи вакуума. Все держатели имеют два дополнительных держателя калибровочных подложек, встроенные в керамический материал для выполнения прецизионной высокочастотной калибровки, особенно в диапазоне выше 40 ГГц.

Микроскоп и оптика

Компания МПИ предлагает широкий ассортимент оптических устройств – от монокулярных микроскопов SuperZoom SZ10 до MegaZoom MZ12 с 12-кратным увеличением и рабочим расстоянием более 45 мм. Низкий коэффициент этих микроскопов соответствует требованиям, предъявляемым к высокочастотным измерениям и измерениям в миллиметровом диапазоне, благодаря пространственным ограничениям, характерным для интеграции частотных удлинителей, которые требуют малые расстояния до тестируемого объекта.

Интеграция частотных расширителей

TS150-AIT включает совершенно новую конструкцию для интеграции частотных расширителей. Чтобы свести к минимуму расстояние до испытуемого устройства и обеспечить наилучшую возможную направленность измерения, МПИ представила новую концепцию, которая наводит расширитель на всю пластину диаметром 200 мм. При переключении между различными полосами в конструкцию встроена защита от сбоев, для большей безопасности.


Показать большеменьше
Характеристика Значение

Похожие товары

TS50 Зондовая станция
Ручная зондовая станция начального уровня для пластин 50 мм.
Под заказ
TS150 Зондовая станция
Базовая версия популярной ручной зондовой станции для пластин 150 мм.
Под заказ
TS150-AIT Зондовая станция
Ручная зондовая станция для измерений на пластинах 150 мм с использованием импедансных тюнеров.
Под заказ
TS150-THZ Зондовая станция
Ручная зондовая станция для измерений в миллиметровом и терагерцовом диапазонах.
Под заказ
TS150-HP Ручная зондовая станция
Станции для устройств высокой мощности предназначены для тестирования устройств высокой мощности на полупроводниковой пластине. Зондовые станции TS150-HP обеспечивают реализацию технического решения для измерений на пластине с расстоянием до 150 мм. Они позволяют успешно выполнять измерения низкого контактного сопротивления мощных полупроводниковых устройств в широком температурном диапазоне.
Под заказ
TS200 Зондовая станция
Ручная зондовая станция предназначена для измерений постоянных (DC/CV), высокочастотных (RF) сигналов и сигналов большой мощности (High Power)
Под заказ
TS200-SE / IFE Зондовая станция
Ручная зондовая станция TS200-ShieldEnvironment с защитой от электромагнитного и светового излучения. TS200-IFE в отличие от серии SE дешевле, не в полной мере защищает тестируемые образцы от ЭМИ, но зато прекрасно зарекомендовала себя при измерениях с отрицательными температурами. Конструктивно отличается заменой оголовника SE-CAP на IF-CAP.
Под заказ
TS200-THZ Зондовая станция
Ручная зондовая станция для измерений в терагерцовом диапазоне.
Под заказ
TS300-PCB Зондовая станция
Ручная зондовая станция для пластины диаметром до 300 мм и печатных плат размером до 610х500 мм.
Под заказ
TS300 Зондовая станция
Ручная зондовая станция для измерений постоянных (DC/CV), высокочастотных (RF) сигналов и сигналов большой мощности (High Power).
Под заказ
TS300-SE / IFE Зондовая станция
Ручная измерительная зондовая станция TS300 с функцией защиты ShielDEnvironment™ предназначена для измерения вольт-фарадных характеристик (DC/CV), а также измерения высокочастотных сигналов (RF) пластин размером до 300 мм в диапазоне температур от -60 до +300°C. Она включает в себя антивибрационную платформу для удобного проведения ежедневных измерений. TS300-IFE в отличие от серии SE дешевле, не в полной мере защищает тестируемые образцы от ЭМИ, но зато прекрасно зарекомендовала себя при измерениях с отрицательными температурами. Конструктивно отличается заменой оголовника SE-CAP на IF-CAP.

Под заказ

Вы смотрели