TS3000 – это автоматическая зондовая станция от компании МПИ для измерений на пластинах диаметром до 300 мм, специально разработанная для проведения RF и mmW измерений, анализа отказов, проверки дизайна ИС, проверки надежности устройств на пластине и других задач.

IceFreeEnvironment™

Встроенная в зондовую станцию TS3000 технология IceFreeEnvironment™ от МПИ позволяет проводить тестирования с микропозиционерами и/или проб-картами в широком диапазоне температур (от -60 до +300°C) на пластинах размером до 300 мм с дополнительной возможностью проверки пленочных структур.

Большая зондовая платформа
Станция TS3000 имеет большую зондовую платформу для удобства размещения до 12-ти DC или 4-х RF микропозиционеров с минимальным расстоянием от платформы до держателя пластин. Возможность установки устройств согласованной нагрузки или микропозиционеров большей площади делает станцию TS3000 идеальной для RF и mmW измерений. Зондовая платформа активно охлаждается во избежание теплового дрейфа, особенно при температуре +300°C.

Легкость загрузки пластин
Двойная передняя дверца/люк станции и уникальная конструкция держателя пластин позволяют легко загружать/разгружать пластины размером 150, 200, 300 мм, фрагменты пластин или ИС размером до 5×5 мм. Дополнительные держатели для калибровочной пластины и пластины для очистки щупов зондовой головки расположены в передней части станции, что обеспечивает удобную загрузку/разгрузку пластин. Это позволяет легко автоматизировать процесс RF калибровки и очистки щупов зондовых головок.

Интегрированная панель управления оборудованием
Многолетний опыт и тесное взаимодействие с заказчиками позволили компании МПИ разработать панель управления оборудованием, интегрированную в зондовую станцию, которая обеспечивает быстрое и безопасное управление системой и операциями тестирования. Для управления программным обеспечением операционной системы Windows® предусмотрена клавиатура и мышь.

Встроенные температурные держатели
Встроенные в зондовые станции серии TS3000 чиллеры из-за меньшей занимаемой площади позволяют сэкономить ценное пространство лаборатории. Новые температурные держатели серии PRIME™ для пластин диаметром 300 мм, совместная разработка компаний МПИ и ERS, открывают возможности для большого выбора температурных держателей. Станции можно конфигурировать в широком диапазоне температур: от -60°C, -40°C, -10°C, 20°C или 30°C до 200°C или 300°C (в зависимости от необходимой термической стойкости, различных запросов и бюджетов). Серия PRIME™ поддерживает проведение испытаний при температуре -10°C без использования чиллера или при температуре -40°C с использованием маленького чиллера, что делает систему экономически эффективной и позволяет снизить общую стоимость испытаний. Сокращение времени переходного процесса, улучшенные электрические характеристики, упрощенная процедура проведения испытаний в инертной атмосфере и возможность модификации являются дополнительными преимуществами температурных держателей серии PRIME™. Управление температурными держателями осуществляется посредством интегрированного сенсорного дисплея, который удобно размещается перед оператором для быстрого выполнения команд и своевременного реагирования.

Встроенная запатентованная ERS технология охлаждения AC3
Температурные держатели включают запатентованную ERS технологию охлаждения AC3 и систему управления воздушными потоками ShieldEnvironment™ для продувки использованным ранее охлажденным воздухом, что снижает потребление сухого сжатого воздуха до 30-50% по сравнению с другими системами на рынке.

Одновременное использование держателя проб-карт и микропозиционеров
Небольшое расстояние между одиночными зондами, низкопрофильными держателями проб-карт размером 4,5” x 11” и испытуемой пластиной на держателе пластин идеально подходит для проведения одновременных измерений с пассивными и активными высокоимпедансными зондами, особенно при отрицательных температурах, позволяют использовать станцию для проверки правильности дизайна ИС и/или анализа отказов.

Система контроля безопасностью испытаний STM™ (Safety Test Management)
Уникальная система STM™ предотвращает открытие дверцы во время испытаний – Ваши результаты измерений будут надежно защищены. Ни при каких условиях не может произойти случайное открытие любой дверцы системы, если температура держателей отрицательна. Более того, интеллектуальный контроль точки росы позволяет избежать образования льда во время холодных испытаний. Система автоматически контролирует поток сжатого воздуха или азота. Если поток прерывается или не соответствует требованиями система STM™ автоматически переключает держатели пластин в безопасный режим: максимально быстро поднимает температуру держателей выше точки росы.

Интеграция инструментов
Дополнительная полка для инструментов позволяет уменьшить длину кабелей и улучшить динамичность и направленность измерений.

Программный пакет SENTIO™
Управление автоматизированными зондовыми системами компании МПИ осуществляется уникальным и продвинутым мультисенсорным программным комплексом SENTIO™ с интуитивно-понятным интерфейсом, который значительно экономит время на обучение. Команды «Scroll» (просмотреть), «Zoom» (увеличить), «Move» (переместить) имитируют современные смартфоны и ускоряют процедуру управления. Переключение между активным измерением и остальными приложениями выполняется очень просто. При выполнении высокочастотных измерений нет необходимости переключаться на другую программную платформу. Программное обеспечение для высокочастотной калибровки, разработанное компанией МПИ, QAlibria™ полностью интегрировано в SENTIO™ с соблюдением одной функциональной концепции для простоты использования.