Полуавтоматические зондовые станции

Полуавтоматические зондовые станции используются, главным образом, на производстве для проведения большого количества однотипных контрольных измерений.

Любая полуавтоматическая зондовая станция обязательно имеет в своем составе управляющий компьютер, как правило, он представлен в промышленном исполнении, что позволяет проводить измерения и контролировать все процессы в автоматическом режиме.

Единственное, что приходится делать оператору вручную, так это загружать и выгружать пластины или исследуемые образцы. В автоматических станциях этот процесс выполняет специальный робот-загрузчик пластин, но и стоимость полностью автоматических станций выше. Кроме того, в автоматических станциях обязательно присутствуют кассеты для пластин.

MPI Corporation производит полуавтоматические зондовые станции на диаметр пластин 200 или 300 мм. Пластины меньшего диаметра (50 или 150 мм) также могут исследоваться на таких станциях.