МПИ корпорэйшн: Полуавтоматические зондовые станции
КАТАЛОГ ПО КАТЕГОРИЯМ
Основные возможности:
- Высокоточные системы выравнивания оптоволокон с максимальной гибкостью для одиночных оптоволокон или массивов оптоволокон в двух- или однопозиционной установке
- Безопасная операция обнаружения оптоволокон при их сближении и предотвращение их столкновения
- Рекомендуемая температура испытания устройств в температурном диапазоне: -40… 100 °C
- Зондовая станция имеет возможность тестирования в температурном диапазоне -60… 300 °C
- Минимизация занимаемой площади системы за счет интеграции дополнительных измерительных инструментов для технологии кремниевой фотоники на специальной стойке для инструментов.

TS3000-SE является следующей версией зондовой станции TS3000 и оснащена специальной камерой ShielDEnvironment™ для исключения влияние внешних шумов и проведения высокоточных, воспроизводимых измерений DC/CV, фликкер-шума (1/f), случайного телеграфного шума и параметров в СВЧ-диапазоне для характеризации устройства, определения надежности на этапе пластины и СВЧ-применений.
Уникальная конструкция столешницы зондовой станции с активным охлаждением обеспечивает максимальную стабильность при проведении измерений в широком диапазоне температур от -60° до 300°C и делает зондовую станцию TS3000-SE отличным выбором для тестирования устройств при разных температурных условиях.
В станции TS3000-SE реализованы передовые технологии МПИ, такие как контроль расстояния между иглами и пластиной PHC™ (стандартная функция), ручное управления положением держателя пластин/микроскопа/манипуляторов mDrive™ и/или вертикальная камера VCE™ (опционально или в качестве модернизации на стороне заказчика).

Основные возможности:
- Предназначена для характеризации силовых устройств
- Для тестирования устройств на пластине до 10кВ и 600А в импульсном режиме
- Позолоченное покрытие держателя пластин и вакуумные ходы оптимизированные для тонких пластин до 50 мкм
- Опция для пластин Taiko
- Высоковольтные зондовые головки и высокоамперные иглы
- Решения от пробоя и образования электрической дуги
- Камера ShieldEnvironment для точных измерений
- Сконструирована для защиты ЭМИ и света
- Низка утечка тока
- Для температурных диапазонов от -60°C до +300 °C
- Передняя ручная и боковая автоматическая загрузка пластины с возможностью выравнивания
- Блокируемая защита от света, защищающая пользователя
- Встроенная антивибрационная изоляция
- Полностью встроенный контроллер зондовой.

Основные возможности TS3000:
- Широкий диапазон температур: от -60 до 300°C
- Минимальная длина кабелей к измерительным устройствам со специальным интерфейсом для лучшей направленности измерений
- Минимальное расстояние между пластиной и держателем для оптимального измерения mmW и внутренних узлов
- Минимальная занимаемая площадь, благодаря встроенному чиллеру.
Полуавтоматические зондовые станции используются, главным образом, на производстве для проведения большого количества однотипных контрольных измерений.
Любая полуавтоматическая зондовая станция обязательно имеет в своем составе управляющий компьютер, как правило, он представлен в промышленном исполнении, что позволяет проводить измерения и контролировать все процессы в автоматическом режиме.
Единственное, что приходится делать оператору вручную, так это загружать и выгружать пластины или исследуемые образцы. В автоматических станциях этот процесс выполняет специальный робот-загрузчик пластин, но и стоимость полностью автоматических станций выше. Кроме того, в автоматических станциях обязательно присутствуют кассеты для пластин.
МПИ производит полуавтоматические зондовые станции на диаметр пластин 200 или 300 мм. Пластины меньшего диаметра (50 или 150 мм) также могут исследоваться на таких станциях.