MPI TS2500

Автоматизированная зондовая станция для пластин размером до 200 мм. Для проведения серийных испытаний на высокой частоте.

Основные возможности:

• Измерения на высокой частоте до 67 ГГц и 4-портовая топология
• Одновременные измерения на постоянном токе DC-IV / постоянном токе и постоянном напряжении / Pulsed-IV
• Обеспечиваемая надежность - 24/7
• Простая фронтальная загрузка одной пластины
• Большой зондовый стол с максимум 4х ВЧ микопозиционерами или стандартным 4.5” держателем проб-карт
• Двойная рука робота и встроенное приспособление для предварительного совмещения для обеспечения высокой степени производительности
• Обеспечиваются различные функции держателей и большой выбор оснастки
• Стандартная камера для внеосевого совмещения полупроводниковой пластины
• Дополнительная камера держателя для верхнего обзора при совмещении зонда и платформы
• Специальная функция для работы с тонкими полупроводниковыми пластинами