Зондовые станции TS3500 и TS3500-SE включают в себя передовые технологии МПИ, такие как контроль расстояния между иглами и пластиной PHC™ в качестве стандартной функции, и ручное управления положением держателя пластин/микроскопа/манипуляторов mDrive™ и/или вертикальная камера VCE™ mDrive™ и/или VCE™ (опционально или в качестве модернизации на стороне заказчика).

Автоматический загрузчик пластин WaferWallet

Стандартная практика характеризации устройств для построения моделей и разработки новых технологий заключается в получении данных с нескольких аналогичных пластин с помощью высокоточных измерений (ВАХ, ВФХ, низкочастотный шум, СВЧ-параметры, Load-Pull измерения).

WaferWallet расширяет возможности автоматизации зондовой станции TS3500 без ограничения измерительных возможностей. WaferWallet имеет пять отдельных лотков для ручной загрузки 150, 200 или 300 мм пластин. Теперь возможны полностью автоматизированные испытания до пяти пластин при различных температурах.

Замена горячих и холодных пластин

Больше не требуется возвращать температуру держателя пластин к комнатной перед загрузкой/выгрузкой пластины. МПИ позволяет сократить время тестирования за счет использования автоматического загрузчика WaferWallet, который обеспечивает загрузку/выгрузку пластин при любой температуре держателя.

Автоматизация измерений

Предварительное ручное выравнивание пластин в лотках загрузчика с помощью базового среза обеспечивает быструю и надежную загрузку пластин. В зависимости от методики работы существуют дополнительные опции для предварительного автоматического выравнивания пластин, считывания идентификатора пластин или выравнивания игл проб-карты относительно контактных площадок (опция PTPA), повышающие уровень автоматизации.

Программное управления Sentio

Программный пакет SENTIO 3.0 с усовершенствованным графическим интерфейсом основан на передовых запатентованных технологиях:

• Мультисенсорное, интуитивное управление;
•  Графический интерфейс в виде единого окна, как на обычных мобильных устройствах;
•  Панель отображения состояния системы для легкого перемещения;
•  Контекстное, пошаговое руководство по эксплуатации;
•  Бесплатные обновления в течение всего срока службы зондовой станции.

Индикация состояния автоматического загрузчика WaferWallet позволяют оператору определить загруженные или пустые лотки, диаметр загруженных пластины (150 или 200 или 300 мм), ориентацию базового среза, идентификатор пластины (опционально), процент протестированных пластин и многое другое.