Установка измерения толщины тонких плёнок Metricon
Metricon 2010/M — установка для измерения толщины тонких плёнок, построенная на лазерной оптике и регистрации оптического сигнала. Использует два лазерных источника (637 нм и 1548 нм), оснащена призменным элементом связи и подложкодержателем с вращением на шаговом двигателе. Управление и вывод результатов выполняются с компьютера.
Установка Metricon 2010/M предназначена для контроля толщины тонких плёнок оптическим методом. В основном блоке размещены два источника лазерного излучения с длинами волн 637 нм (He-Ne) и 1548 нм, оптическая система преломления и призменный элемент связи, обеспечивающие корректное взаимодействие лазерного излучения с образцом. Подложкодержатель снабжён системой вращения на базе шагового двигателя, что упрощает позиционирование и проведение измерений по поверхности образца. Регистрация и измерение оптического сигнала выполняются детектором в составе контрольного блока, а управление установкой и отображение результатов обеспечиваются компьютером управления.
Состав прибора
- A) Основной блок
- Два источника лазерного излучения: 637 нм и 1548 нм
- Оптическая система преломления лазерного излучения
- Призменный элемент связи
- Подложкодержатель
- Система вращения подложкодержателя на базе шагового двигателя
- B) Контрольный блок с детектором
- Контрольный блок
- Детектор (регистрация/измерение оптического сигнала)
- C) Блок питания LDCU для He-Ne лазера (637 нм)
- Блок питания LDCU, обеспечивающий работу He-Ne лазера с длиной волны 637 нм
- D) Компьютер управления
- Компьютер для управления установкой
- Вывод информации и результатов измерений на экран монитора
- E) Модуль измерения оптических потерь в пленке