Сканирующий электронный микроскоп с высоким разрешением CIQTEK SEM4000X

Основные преимущества

• Высокое разрешение при низких и средних ускоряющих напряжениях
  
• Полевой эмиссионный источник электронов с высокой стабильностью пучка
  
• Электронно‑оптическая система с пониженной аберрацией
  
• Поддержка различных режимов детектирования
  
• Надёжная платформа для рутинных и исследовательских измерений

Электронно‑оптическая система

• Тип электронной пушки: полевая электронная пушка Шоттки
  
• Диапазон ускоряющего напряжения: от 0,02 до 30 кВ
  
• Пространственное разрешение:
  • до 1,0 нм при 15 кВ
    
  • до 1,8 нм при 1 кВ
    
• Электромагнитный объектив с оптимизированной геометрией поля
  
• Стабильные условия формирования зонда при высоких увеличениях

Возможности визуализации

• Получение изображений во вторичных и обратно рассеянных электронах
  
• Повышенная контрастность при наблюдении тонких поверхностных структур
  
• Минимальные искажения при больших увеличениях
  
• Поддержка анализа микрорельефа и морфологии материалов

Камера образцов и вакуумная система

• Полностью автоматизированная безмасляная вакуумная система
  
• Камера образцов, рассчитанная на установку дополнительных детекторов
  
• Загрузочный шлюз для ускоренной смены образцов
  
• Возможность работы с проводящими и слабопроводящими материалами

Предметный стол

• Моторизованный эвцентрический предметный столик
  
• Число осей: 5
  
• Диапазоны перемещений:
  • X, Y — до 110 мм
    
  • Z — до 65 мм
    
  • Наклон — от −10° до +70°
    
  • Вращение — 360°
    
• Высокая точность позиционирования и повторяемость
  

Детекторы и расширение функциональности

Стандартная комплектация:
- Детектор вторичных электронов Эверхарта–Торнли

- Внутриколонный детектор вторичных электронов

Опционально:
- Детекторы обратно рассеянных электронов (BSE)

- STEM‑детектор

- Энергодисперсионный рентгеновский анализ (EDS/EDX)

- EBSD‑система

- Дополнительные аналитические и навигационные модули

Программное обеспечение и управление

• Интуитивно понятный графический интерфейс
  
• Централизованное управление микроскопом и детекторами
  
• Автоматические функции:
  • автофокусировка;
    
  • коррекция астигматизма;
    
  • автоматическая настройка яркости и контраста
    
• Оптическая навигация по образцу
  
• Операционная система: Windows
  
• Язык интерфейса: английский
  

Области применения

• материаловедение и анализ поверхности;
  
• полупроводниковые структуры и микроэлектроника;
  
• порошковые и композиционные материалы;
  
• металлография и контроль качества;
  
• научные и прикладные исследования в области нанотехнологий.