Сканирующий электронный микроскоп с полевой эмиссией CIQTEK SEM5000Pro

Основные преимущества

• Высокое разрешение при низком ускоряющем напряжении
• Полевой эмиссионный источник электронов высокой яркости
• Комбинированная электронно‑оптическая система с пониженной аберрацией
• Поддержка широкого спектра аналитических методов
• Гибкая конфигурация под исследовательские и промышленные задачи

Электронно‑оптическая система

• Тип электронной пушки: полевая электронная пушка Шоттки
• Диапазон ускоряющего напряжения: от 0,02 до 30 кВ
• Разрешение:
  • до 1,0 нм при 15 кВ
  • до 1,6 нм при 1 кВ
• Объектив: электромагнитный с оптимизированной геометрией поля
• Высокая стабильность пучка для аналитических измерений

Режимы наблюдения и анализа

• Получение изображений вторичных и обратно рассеянных электронов
• Повышенная контрастность при низкоэнергетическом режиме
• Поддержка количественного и качественного анализа
• Совместимость с аналитическими приставками EDS/EDX, EBSD, WDS

Камера образцов и вакуумная система

• Полностью автоматизированная безмасляная вакуумная система
• Камера большого объёма для установки аналитических модулей
• Быстрый обмен образцов с помощью загрузочного шлюза
• Возможность работы с различными типами образцов

Предметный стол

• Моторизованный эвцентрический предметный столик
• Количество осей: 5
• Диапазоны перемещений:
  • X, Y — до 110 мм
  • Z — до 65 мм
  • Наклон — от −10° до +70°
  • Вращение — 360°
• Высокая точность и повторяемость позиционирования

Системы детектирования

Стандартная конфигурация:
- Внутриколонный детектор вторичных электронов
- Детектор Эверхарта–Торнли

Опционально:
- Детекторы обратно рассеянных электронов (BSE)
- STEM‑детектор
- Энергодисперсионный рентгеновский анализ (EDS/EDX)
- Система дифракции обратно рассеянных электронов (EBSD)

Программное обеспечение и управление

• Современный интерфейс управления SEM
• Интеграция всех функций в едином рабочем окне
• Автоматические функции:
  • автофокус;
  • коррекция астигматизма;
  • настройка яркости и контраста
• Поддержка оптической навигации
• Операционная система: Windows
• Язык интерфейса: английский

Основные области применения

• материаловедение и металлография;
• полупроводниковые структуры и микроэлектроника;
• наноматериалы и тонкие плёнки;
• катализаторы и порошковые материалы;
• анализ отказов и контроль качества;
• научные и прикладные исследования.