Двухлучевой сканирующий электронный микроскоп FIB‑SEM CIQTEK DB550
CIQTEK DB550 — это двухлучевая система, объединяющая сканирующий электронный микроскоп с полевой эмиссией и колонну с фокусированным ионным пучком галлия. Прибор предназначен для высокоточного наноанализа, микрофрезерования и подготовки образцов, включая ламели для просвечивающей электронной микроскопии.
Микроскоп обеспечивает стабильную работу при низких ускоряющих напряжениях и высокое пространственное разрешение за счёт усовершенствованной электронно‑оптической схемы и немагнитной конструкции объектива.
Ключевые особенности
- Двухлучевая конфигурация SEM + FIB (Ga⁺)
- Высокое разрешение при низком ускоряющем напряжении
- Стабильная электронно‑оптическая система с водяным охлаждением объектива
- Интеграция систем нанообработки и аналитических методов
- Поддержка широкого набора детекторов и аксессуаров
Электронно‑лучевая система (SEM)
- Полевой эмиссионный источник электронов типа Шоттки
- Разрешение до 0,9 нм при 15 кВ и до 1,6 нм при 1 кВ
- Диапазон ускоряющего напряжения: 0,02–30 кВ
- Комбинированный электромагнитно‑электростатический объектив
- Работа с магнитными и немагнитными образцами
Ионно‑лучевая система (FIB)
- Источник ионов: жидкометаллический галлиевый источник
- Ускоряющее напряжение: 0,5–30 кВ
- Диапазон тока ионного пучка: от 1 пА до 65 нА
- Разрешение ионного пучка до 3 нм при 30 кВ
- Предназначена для локальной микро‑ и нанообработки, фрезеровки и осаждения
Камера образцов и предметный стол
- Автоматизированная безмасляная вакуумная система
- Встроенный шлюз загрузки образцов для снижения загрязнения камеры
- Моторизованный эвцентрический предметный столик с 5 степенями свободы
- Перемещения:
- X, Y — до 110 мм
- Z — до 65 мм
- Наклон — от −10° до +70°
- Вращение — 360°
Системы детектирования
В стандартной комплектации:
- Внутрилинзовый детектор вторичных электронов
- Детектор Эверхарта–Торнли
Опционально доступны:
- Детектор обратно рассеянных электронов (BSE)
- STEM‑детектор
- Энергодисперсионная рентгеновская спектроскопия (EDS/EDX)
- EBSD‑система
- Катодолюминесценция и другие аналитические модули
Наноманипуляция и газовая система
- Интегрированный наноманипулятор с пьезоэлектрическим приводом
- Минимальный шаг позиционирования до 10 нм
- Система впрыска газа для осаждения и травления
- Поддержка различных газовых прекурсоров
- Прецизионный контроль температуры и положения инжектора
Программное обеспечение и управление
- Единый графический интерфейс управления SEM и FIB
- Интеграция всех модулей в одном рабочем окне
- Поддержка автоматической фокусировки, коррекции астигматизма и регулировки контраста
- Оптическая навигация и ускоренное позиционирование образца
- Операционная система Windows
Основные области применения
- анализ и диагностика полупроводниковых структур;
- подготовка образцов для ПЭМ;
- анализ отказов электронных компонентов;
- исследования материалов аккумуляторов и энергетических систем;
- изучение металлов, сплавов, керамики и композитов;
- трёхмерный анализ микроструктуры.