Высокоскоростной сканирующий электронный микроскоп CIQTEK HEM6000
CIQTEK HEM6000 — полностью автоматизированная рабочая станция сканирующей электронной микроскопии с полевой эмиссией, ориентированная на сверхбыстрое получение изображений при сохранении нанометрового разрешения. Прибор разработан для высокопроизводительных задач, включая съёмку больших площадей, анализ полупроводниковых структур и биологических образцов.
Использование высокояркой электронной пушки, скоростной системы отклонения пучка и иммерсионного комбинированного объектива позволяет увеличить скорость формирования изображений более чем в пять раз по сравнению с традиционными FE‑SEM.
Ключевые особенности
- Высокоскоростное сканирование с минимальным временем пикселя
- Полностью автоматизированные процессы загрузки, позиционирования и съёмки
- Нанометрическое разрешение при низких ускоряющих напряжениях
- Большое поле зрения с минимальными геометрическими искажениями
- Интеграция режимов SE, BSE и STEM в одном интерфейсе
Электронно‑оптическая система
- Источник электронов: высокояркая полевая электронная пушка Шоттки
- Диапазон ускоряющих напряжений: от 0,1 до 30 кВ
(режим торможения образца и режим без торможения) - Разрешение:
- до 1,5 нм при 1 кВ (SE)
- до 1,8 нм при 1 кВ (BSE)
- Объектив: иммерсионный электромагнитно‑электростатический комбинированный
- Поддержка режимов низкого напряжения с высокой эффективностью сбора сигнала
Высокоскоростное сканирование и обработка сигналов
- Минимальное время пикселя: до 10 нс
- Максимальная скорость формирования изображений: до 2 × 100 Мпикс/с
- Размер изображения: до 16K × 16K
- Электростатическая многоступенчатая система отклонения пучка
- Цифровая фильтрация и гибкое смешивание сигналов SE и BSE
Большое поле зрения и низкие искажения
- Динамическое смещение оптической оси в зависимости от угла сканирования
- Поле зрения до 64 × 64 мкм при шаге 4 нм
- Минимальные краевые искажения при широкоугольной съёмке
- Технология торможения предметного столика для повышения контраста и разрешения
Камера образцов и предметный стол
- Полностью автоматизированная безмасляная вакуумная система
- Автоматическая загрузка и выгрузка образцов
- Моторизованный предметный столик:
- перемещения X, Y — до 110 мм
- перемещение Z — до 16 мм
- Повторяемость позиционирования: до ±0,6 мкм
- Поддержка образцов диаметром до 4 дюймов
Детекторы и опции
- Внутриколонный детектор вторичных электронов
- Детекторы обратно рассеянных электронов (верхние и нижние конфигурации)
- STEM‑детектор
- Опционально:
- пьезоэлектрический предметный столик
- система плазменной очистки
- активная антивибрационная платформа
- модули сшивания изображений и 3D‑реконструкции
Программное обеспечение и автоматизация
- Единый интерфейс управления
- Поддержка оптической навигации и жестового управления
- Автоматические функции:
- распознавание образца;
- выбор области интереса;
- настройка яркости и контраста;
- автофокус и коррекция астигматизма
- Операционная система: Windows
- Язык интерфейса: английский
Конфигурации
- HEM6000‑Semi — оптимизирован для полупроводниковых и материаловедческих задач
- HEM6000‑Bio — ориентирован на биологические и медицинские исследования
- HEM6000‑Lite — упрощённая версия с акцентом на скорость и удобство эксплуатации
Области применения
- анализ интегральных схем и полупроводниковых пластин;
- высокоскоростная инспекция больших областей;
- биологические и медицинские исследования;
- материаловедение и наноструктурный анализ;
- автоматизированные рутинные измерения и серийные исследования.