Сканирующий электронный микроскоп с ультравысоким разрешением CIQTEK SEM5000X

Основные особенности

• Ультравысокое разрешение при низком ускоряющем напряжении
• Полевой эмиссионный источник электронов высокой яркости
• Комбинированный электромагнитно‑электростатический объектив
• Повышенная стабильность пучка для аналитических задач
• Поддержка широкого набора детекторов и аналитических модулей

Электронно‑оптическая система

• Тип электронной пушки: полевая электронная пушка Шоттки
• Диапазон ускоряющего напряжения: от 0,02 до 30 кВ
• Разрешение:
  • до 0,8 нм при 15 кВ
  • до 1,2 нм при 1 кВ
• Иммерсионный объектив с низкими аберрациями
• Возможность работы с магнитными и немагнитными образцами

Режимы визуализации и качество изображения

• Высокая контрастность при низких энергиях электронов
• Эффективный сбор вторичных и обратно рассеянных электронов
• Минимальные искажения при высоких увеличениях
• Поддержка наблюдения наноструктур и тонких поверхностных деталей

Камера образцов и вакуумная система

• Полностью автоматизированная безмасляная вакуумная система
• Основная камера большого объёма для размещения аналитических модулей
• Быстрый обмен образцов с использованием загрузочного шлюза
• Снижение загрязнения камеры при частой смене образцов

Предметный стол

• Моторизованный эвцентрический предметный столик
• Число осей: 5
• Диапазоны перемещений:
  • X, Y — до 110 мм
  • Z — до 65 мм
  • Наклон — от −10° до +70°
  • Вращение — 360°
• Высокая точность и повторяемость позиционирования

Системы детектирования

Стандартная комплектация:
- Внутриколонный детектор вторичных электронов
- Детектор Эверхарта–Торнли

Опционально:
- Детекторы обратно рассеянных электронов (BSE)
- Детектор STEM
- Энергодисперсионный анализ (EDS/EDX)
- EBSD‑система
- Катодолюминесценция (CL)

Программное обеспечение и управление

• Современный графический интерфейс управления
• Интеграция всех режимов и детекторов в одном окне
• Автоматические функции:
  • фокусировка;
  • коррекция астигматизма;
  • настройка яркости и контраста
• Поддержка оптической навигации
• Операционная система: Windows
• Язык интерфейса: английский

Области применения

• наноматериалы и наноструктуры;
• полупроводниковые приборы и ИС;
• тонкие плёнки и покрытия;
• катализаторы и порошковые материалы;
• металлография и анализ поверхности;
• научные и прикладные исследования с повышенными требованиями к разрешению.