Ручная зондовая станция с пластинами диаметром до 150 мм
Зондовая станция предназначена для точных и воспроизводимых измерений постоянных (DC/CV), высокочастотных (RF) сигналов и силовой электроники (High Power) на пластинах диаметром до 150 мм.
Станция имеет широкие возможности применения для таких нужд, как снятие характеристик и моделирование устройств, оценка надежности кристаллов на подложке, анализ дефектов технологии ИС, МЭМС и работы с силовой электроникой.
Ключевые особенности станции
✓ Установка до 8 микропозиционеров
✓ Три фиксированных положения: контакт, разделение (300 мкм) и загрузка пластин (3 мм)
✓ Функция Auto Contact с повторяемостью ±1 мкм для плавного и точного вхождения в контакт
✓ 2 дополнительных керамических держателя для установки калибровочных пластин
✓ Прочный стол с высокой чистотой обработки
✓ Подходит для DC/CV и СВЧ измерений
✓ Бинокулярный стереомикроскоп ST45 или цилиндрические SZ12, MZ12 с зумом 12x и рабочим расстоянием 95 мм
✓ Возможность установки пульта управления нагревом держателя с сенсорным экраном
Опции
✓ Нагрев до 300 °C
✓ Антивибрационная платформа
✓ Защитный кожух от ЭМИ и света
✓ Вакуумный насос и компрессор
✓ Антивибрационные стол с дополнительными полками для ПК, термоконтроллера и клавиатуры
✓ Штанга для установки мониторов
| Характеристика | Значение |
|---|