Замкнутая низкотемпературная вакуумная зондовая станция CRX-10K и CRX-4.5K

2″ (100 мм) Размер чека (chuck)

50 мм Окно наблюдения

0,1 / 0,01 / 0,001 К Разрешение термоконтроля

до ±50 мК при T < 10 К, до ±10 мК в диапазонах 10 - 100 К и 100 - 300 К Стабильность

монокулярный, увеличение 0,75 - 5× Микроскоп

±50 мм, точность 10 мкм Перемещение микроскопа по X

коаксиальная Подсветка

2 Мп или 12 Мп Камера

25 × 70 × 15 мм Перемещения X-Y-Z

2 мкм Точность перемещений

низкотемпературные керамические, типовые острия 10 / 20 / 50 мкм Пробники

коаксиальные, триаксиальные, СВЧ Кабели

<100 фА при 1 В, <10 фА при 0,5 В Токовые утечки (типовые)

комплект турбомолекулярного насоса Вакуумная система

872 × 962 × 1400 мм Габариты

около 130 кг Масса

Дополнительные услуги

Моделирование ЭКБ

CRX-серия – криогенные вакуумные зондовые станции с замкнутым контуром охлаждения на базе GM-криоохладителя. Решение даёт стабильную работу на низких температурах без расхода криожидкостей и удобно для регулярных измерений и длительных экспериментальных прогонов.

Ключевые особенности

– Замкнутый цикл охлаждения (GM Chiller) – без хладагента и без расхода LN₂/LHe

– Вакуум: лучше 7×10⁻⁴ Торр при комнатной температуре и лучше 7×10⁻⁷ Торр на низких температурах

– Низкая вибрация стола – ≤ 1 мкм

– До 6 интерфейсов для зондовых манипуляторов

– Поддержка DC - 67 ГГц

Отличия моделей по температуре

– CRX-10K – диапазон 10 - 350 К

– CRX-4.5K – диапазон 4,5 - 350 К

Применения

– Низкотемпературная электроника, измерения I-V и малых токов в вакууме

– Квантовые и криогенные исследования

– Датчики и детекторы, измерения при 4,5 - 10 К и выше

– Регулярные тесты без логистики криожидкостей

подробнее свернуть