Зондовая станция предназначена для точных измерений в миллиметровом и терагерцовом диапазонах на полупроводниковой пластине диаметром до 150 мм.

Станция предназначена для снятия характеристик и моделирования устройств, оценка надежности кристаллов на подложке и контроля качества.

Ключевые особенности станции

✓ Точность позиционирования до 1 мкм

✓ Три фиксированных положения: контакт, разделение (300 мкм) и загрузка пластин (3 мм)

✓ Функция Auto Contact с повторяемостью ±1 мкм для плавного и точного вхождения в контакт

✓ 2 дополнительных керамических держателя для установки калибровочных пластин

✓ Прочный стол с высокой чистотой обработки

✓ Подходит для DC/CV и СВЧ измерений

✓ Цилиндрические стереомикроскопы SZ12, MZ12 с зумом 12x и рабочим расстоянием 95 мм

✓ Возможность установки пульта управления нагревом держателя с сенсорным экраном

Опции

✓ Нагрев до 300 °C

✓ Антивибрационная платформа

✓ Установка камеры бокового обзора для контроля позиционирования

✓ Защитный кожух от ЭМИ и света

✓ Вакуумный насос и компрессор

✓ Позолоченное покрытие для снижения сопротивления при контакте с пластинами

✓ Антивибрационные стол с дополнительными полками для ПК, термоконтроллера и клавиатуры

✓ Штанга для установки мониторов

Характеристика	Значение

Ручная зондовая станция с пластинами диаметром до 150 мм для измерений миллиметрового диапазона волн