Автоматическая зондовая станция с пластинами диаметром ATPA-3000-S
Зондовая станция : предназначена для точных и воспроизводимых измерений по постоянному току (DC/CV), высокочастотных измерений (RF) на пластинах диаметром до 300 мм.
Станция имеет широкие возможности применения для таких нужд, как анализ сбоев, проверки соответствия конструкции заданным требованиям, технологии ИС, надежности конструкции на уровне полупроводниковой пластины, а также особым требованиям, испытаниям на термостойкость, на воздействие холода, продолжительные испытания.
Ключевые особенности станции
✓ Работу с пластинами толщиной до 50 мкм
✓ Антивибрационные стол с дополнительными полками для ПК, термоконтроллера и клавиатуры
✓ Штанга для установки мониторов
✓ Создание карты подложки
✓ Возможность установки пробкарт при использовании стандартного 4.5" держателя
✓ 2 дополнительных керамических держателя для установки калибровочных пластин
✓ Охлаждение с помощью сжатого воздуха
✓Цилиндрические стереомикроскопы SZ12, AMZ12 с зумом 12x и рабочим расстоянием 95 мм или видеосистема iMAG®
✓ Антивибрационная платформа
Опции
✓ Возможность установки пластин до 5×5 мм
✓ Установка камеры бокового обзора для контроля позиционирования
✓ Штанга для установки мониторов