Полуавтоматическая зондовая станция с пластинами диаметром для кремниевой фотоники ATPA-2000-F
Зондовая станция предназначена для тестирования устройств кремниевой фотоники на полупроводниковой пластине диаметром до 200 мм.
Станция позволяет успешно выполнять измерения для устройств кремниевой фотоники: сенсоров, лидаров, трансиверов для дата-центров.
Ключевые особенности станции
✓ Точность позиционирования доходит до десятков нанометров
✓ 2 дополнительных керамических держателя для установки калибровочных пластин
✓ Позволяет дополнительно проводить DC/CV и СВЧ измерений
✓Цилиндрические стереомикроскопы SZ12, AMZ12 с зумом 12x и рабочим расстоянием 95 мм
✓ Возможность установки пульта управления нагревом держателя с сенсорным экраном
Основные опции
✓ Температурный диапазон от -60°C до 300 °C
✓ Установка камеры бокового обзора для контроля позиционирования
✓ Возможность апгрейда до полного автомата
✓ Загрузка-выгрузка горячих / холодных пластин при заданной температуре
✓ Возможность установки пластин до 5×5 мм
✓ Антивибрационные стол с дополнительными полками для ПК, термоконтроллера и клавиатуры
✓ Штанга для установки мониторов